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1. (WO2013059705) SYSTEMS AND METHODS OF WAFER GRINDING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/059705    International Application No.:    PCT/US2012/061169
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 19.10.2012
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: STRASBAUGH [US/US]; 825 Buckley Road San Luis Obispo, California 93401 (US)
Inventors: WALSH, Thomas A.; (US).
VOGTMANN, Michael R.; (US)
Agent: LEBENS, Thomas F.; 120 South LaSalle Street, Suite 1600 Chicago, Illinois 60603 (US)
Priority Data:
61/549,787 21.10.2011 US
61/632,262 23.01.2012 US
61/631,102 28.12.2011 US
61/585,643 11.01.2012 US
61/708,146 01.10.2012 US
61/708,165 01.10.2012 US
Title (EN) SYSTEMS AND METHODS OF WAFER GRINDING
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PONÇAGE DE TRANCHES
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods are provided for use in processing and/or grinding wafers or other work products. Some embodiments provide a grinding apparatus that comprise a base casting; a rotary indexer configured to rotate within the base casting; a work spindle secured with the rotary indexer; a work chuck coupled with the first work spindle, wherein the first work spindle is configured to rotate the first work chuck; a bridge casting secured relative to the base casting, wherein the bridge casting bridges across at least a portion of the rotary indexer and is supported structurally forming a closed stiffness loop; a grind spindle secured with the bridge casting; and a grind wheel cooperated with the grind spindle, wherein the bridge casting secures the grind spindle.
(FR)L'invention porte sur des systèmes et sur des procédés, lesquels sont destinés à être utilisés dans le traitement et/ou le ponçage de tranches ou d'autres produits de travail. Certains modes de réalisation portent sur un appareil de ponçage qui comprend un moulage de base ; un indexeur rotatif configuré de façon à tourner à l'intérieur du moulage de base ; un arbre rotatif de travail fixé à l'indexeur rotatif ; un mandrin de travail couplé au premier arbre rotatif de travail, le premier arbre rotatif de travail étant configuré de façon à faire tourner le premier mandrin de travail ; un moulage de pont fixé par rapport au moulage de base, le moulage de pont pontant au moins une partie de l'indexeur rotatif et étant supporté structurellement de façon à former une boucle de rigidité fermée ; un arbre rotatif de ponçage fixé au moulage de pont ; et une roue de ponçage coopérant avec l'arbre rotatif de ponçage, le moulage de pont fixant l'arbre rotatif de ponçage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)