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1. (WO2013059591) APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING UNIFORM FLOW OF GAS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/059591    International Application No.:    PCT/US2012/061022
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 19.10.2012
IPC:
H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
YUDOVSKY, Joseph [US/US]; (US) (US only).
CHANG, Mei [US/US]; (US) (US only).
GUNGOR, Faruk [TR/US]; (US) (US only).
MA, Paul F. [US/US]; (US) (US only).
CHU, David [US/US]; (US) (US only).
KAO, Chien-Teh [US/US]; (US) (US only).
LAM, Hyman [US/US]; (US) (US only).
WU, Dien-Yeh [--/US]; (US) (US only)
Inventors: YUDOVSKY, Joseph; (US).
CHANG, Mei; (US).
GUNGOR, Faruk; (US).
MA, Paul F.; (US).
CHU, David; (US).
KAO, Chien-Teh; (US).
LAM, Hyman; (US).
WU, Dien-Yeh; (US)
Agent: BLANKMAN, Jeffrey I.; Diehl Servilla LLC 33 Wood Avenue South Second Floor, Suite 210 Iselin, New Jersey 08830 (US)
Priority Data:
61/548,942 19.10.2011 US
13/653,952 17.10.2012 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR PROVIDING UNIFORM FLOW OF GAS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR OBTENIR UN ÉCOULEMENT DE GAZ UNIFORME
Abstract: front page image
(EN)Provided are gas distribution apparatus with a delivery channel having an inlet end, an outlet end and a plurality of apertures spaced along the length. The inlet end is connectable to an inlet gas source and the outlet end is connectible with a vacuum source. Also provided are gas distribution apparatus with spiral delivery channels, intertwined spiral delivery channels, splitting delivery channels, merging delivery channels and shaped delivery channels in which an inlet end and outlet end are configured for rapid exchange of gas within the delivery channels.
(FR)L'invention porte sur un appareil de distribution de gaz qui présente un canal de distribution ayant une extrémité d'entrée, une extrémité de sortie et une pluralité d'ouvertures espacées le long de la longueur. L'extrémité d'entrée peut être reliée à une source de gaz d'entrée et l'extrémité de sortie peut être reliée à une source de vide. L'invention porte également sur un appareil de distribution de gaz dont les canaux de distribution sont en spirale, en spirale entremêlée, à division, à réunion et formés de telle sorte qu'une extrémité d'entrée et une extrémité de sortie sont configurées pour un échange de gaz rapide à l'intérieur des canaux de distribution.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)