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1. (WO2013059453) TEMPERATURE CONTROL SYSTEM AND METHOD FOR A CHAMBER OR PLATFORM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/059453    International Application No.:    PCT/US2012/060806
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 18.10.2012
IPC:
G05D 23/19 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: TEMPTRONIC CORPORATION [US/US]; 41 Hampden Road Mansfield, MA 02048 (US)
Inventors: WENG, Chuan; (US)
Agent: MILLS, Steven M.; Pierce Atwood, LLP 100 Summer Street, Suite 2500 Boston, MA 02110 (US)
Priority Data:
13/275,976 18.10.2011 US
Title (EN) TEMPERATURE CONTROL SYSTEM AND METHOD FOR A CHAMBER OR PLATFORM
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE TEMPÉRATURE POUR UNE CHAMBRE OU UNE PLATEFORME
Abstract: front page image
(EN)A temperature control system and method include a source of a temperature control medium that is to be introduced into a space. A fluid line conveys the temperature control medium from the source to the space, a first end of the fluid line being disposed in the space. An orifice assembly has an orifice through which the cooling medium flows toward the space. A size of the orifice is adjustable such that a rate of flow of the cooling medium entering the space is controllable. The size of the orifice may be adjusted by an actuating device comprising a motor coupled to a lead screw moving a plug, or the system may comprise a plurality of interchangeable orifice elements having respective orifices of different sizes.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé de régulation de température qui comprennent une source d'un milieu de régulation de température qui doit être introduit dans un espace. Une ligne de fluide transporte le milieu de régulation de température depuis la source vers l'espace, une première extrémité de la ligne de fluide étant disposée dans l'espace. Un ensemble orifice possède un orifice à travers lequel le milieu de refroidissement s'écoule vers l'espace. Une dimension de l'orifice est réglable de sorte d'un débit du milieu de refroidissement entrant dans l'espace puisse être régulé. La dimension de l'orifice peut être réglée par un dispositif d'actionnement comprenant un moteur accouplé à une vis mère déplaçant un bouchon, ou bien le système peut comprendre une pluralité d'éléments d'orifice interchangeables possédant des orifices respectifs de différentes dimensions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)