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1. (WO2013059337) ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/059337    International Application No.:    PCT/US2012/060638
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 17.10.2012
Chapter 2 Demand Filed:    24.06.2013    
IPC:
G02B 26/00 (2006.01), H01G 5/18 (2006.01), G01J 1/26 (2006.01), H01G 5/16 (2006.01)
Applicants: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714 (US)
Inventors: ZHONG, Fan; (US).
TAO, Yi; (US)
Agent: ABUMERI, Mark M.; Knobbe Martens Olson & Bear LLP 2040 Main Street, Fourteenth Floor Irvine, California 92614 (US)
Priority Data:
13/278,603 21.10.2011 US
Title (EN) ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SYSTÈMES ÉLECTROMÉCANIQUES
Abstract: front page image
(EN)This disclosure provides systems, methods, and apparatus for EMS devices. In one aspect, an EMS device includes at least one movable layer configured to move relative to one or more electrodes. The at least one movable layer can include a first conductive layer, a second conductive layer, and a non-conductive layer disposed between the first conductive layer and the second conductive layer. In some implementations, the movable layer can include at least one conductive via electrically connecting the first conductive layer and the second conductive layer through the non-conductive layer.
(FR)La présente invention concerne des systèmes, des procédés, et un appareil pour dispositifs de systèmes électromécaniques. Selon un aspect, un dispositif de systèmes électromécaniques comprend au moins une couche mobile configurée pour se déplacer par rapport à une ou à plusieurs électrodes. La ou les couches mobiles peuvent comprendre une première couche conductrice, une seconde couche conductrice, et une couche non conductrice disposée entre la première couche conductrice et la seconde couche conductrice. Dans certaines applications, la couche mobile peut comprendre au moins un trou d'interconnexion verticale conducteur, connectant électriquement la première couche conductrice et la seconde couche conductrice à travers la couche non conductrice.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)