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1. (WO2013059006) METHOD AND APPARATUS FOR APPLICATION OF ANTI-STICTION COATING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/059006    International Application No.:    PCT/US2012/059075
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 05.10.2012
IPC:
B81B 3/00 (2006.01), G02B 26/00 (2006.01)
Applicants: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714 (US)
Inventors: BOS, Jan; (US).
HEALD, David; (US).
LIN, Yen Hua; (US).
LAI, Yung-Wei; (US).
LIAO, Jui-Chih; (US).
TAN, Yoke-Hou; (US).
TADEPALLI, Nageswara Rao; (US).
DU, Yan; (US).
LIU, Jianwei; (US).
PIETRI, Richard; (US)
Agent: ABUMERI, Mark M.; Knobbe Martens Olson & Bear LLP 2040 Main Street, Fourteenth Floor Irvine, California 92614 (US)
Priority Data:
13/279,132 21.10.2011 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR APPLICATION OF ANTI-STICTION COATING
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'APPLICATION DE REVÊTEMENT ANTI-FROTTEMENT STATIQUE
Abstract: front page image
(EN)This disclosure provides apparatus, systems and methods for manufacturing electromechanical systems (EMS) packages. One method includes making an EMS package that includes an out-gassable anti-stiction coating. The anti-stiction coating may be a solvent that is included within part of a desiccant mixture. In some implementations, the method includes sealing an EMS device into a package and then heating the package using a temperature profile that out-gasses at least a portion of a residual solvent. The method may include an incubation bake cycle to distribute anti stiction material to display elements within the EMS package. The incubation bake cycle may also more evenly distribute contaminants within the EMS package so as to reduce their effects.
(FR)Cette invention concerne un appareil, des systèmes et des procédés de fabrication d'emballages de systèmes électromécaniques (EMS). Un procédé consiste à fabriquer un emballage d'EMS qui comprend un revêtement anti-frottement statique pouvant évacuer les gaz. Le revêtement anti-frottement statique peut être un solvant qui est inclus dans une partie d'un mélange déshydratant. Dans certaines mises en œuvre, le procédé consiste à sceller de façon étanche un dispositif EMS dans un emballage, puis à chauffer l'emballage en utilisant un profil de température qui dégaze au moins une partie d'un solvant résiduel. Le procédé peut comprendre un cycle de cuisson d'incubation pour distribuer une matière anti-frottement statique à des éléments d'affichage à l'intérieur de l'emballage d'EMS. Le cycle de cuisson d'incubation peut également distribuer plus uniformément des contaminants à l'intérieur de l'emballage d'EMS de façon à réduire leurs effets.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)