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1. (WO2013058124) LASER BEAM MACHINING APPARATUS AND METHOD, AND APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM SOLAR CELLS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/058124    International Application No.:    PCT/JP2012/075892
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 05.10.2012
IPC:
B23K 26/04 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01), B23K 26/03 (2006.01), B23K 26/08 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Nihonbashi Muromachi Bldg., 3-16, Nihonbashi Hongokucho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030021 (JP)
Inventors: WADA, Hiromitsu; (JP)
Priority Data:
2011-230099 19.10.2011 JP
Title (EN) LASER BEAM MACHINING APPARATUS AND METHOD, AND APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM SOLAR CELLS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'USINAGE À FAISCEAU LASER, ET APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER DES CELLULES SOLAIRES À FILM MINCE
(JA) レーザビーム加工装置及び方法並びに薄膜太陽電池の製造装置及び方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are an apparatus and method whereby, even if sheet-like substrates are prone to expansion and contraction after deposition, pitch feeding can be carried out in appropriate amounts, thus maintaining the precision of predefined line widths and repeating pitches, enabling prescribed patterns to be machined. Specifically, the apparatus and method are provided with: sheet material conveying parts for conveying a sheet material; holding parts for holding the sheet material; laser irradiation parts for emitting laser beams; a laser irradiation position changing part for moving the laser irradiation parts relative to the width direction and conveyance direction of the sheet material; a machining pattern registration part for registering where to project the laser beams; and a control unit for emitting the laser beams while changing the position of irradiation positions on the basis of a registered machining pattern. The apparatus and method are further provided with a reference mark observation part and a reference mark interval measuring part, said control unit emitting the laser beams while successively correcting and changing the relative positions of movement of the laser irradiation position changing part on the basis of the positions of the reference marks and the dimensions between the marks, and registered prescribed pattern information.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé grâce auxquels, même si des substrats en forme de feuille sont enclins à s'agrandir et se contracter après le dépôt, une alimentation pas à pas peut être réalisée dans des quantités appropriées, maintenant ainsi la précision de largeurs de ligne prédéterminées et répétant des pas, permettant à des configurations prescrites d'être usinées. Particulièrement, l'appareil et le procédé sont pourvus : de parties de transport de matériau en feuille pour transporter un matériau en feuille ; de parties de retenue pour retenir le matériau en feuille ; de parties d'irradiation laser pour émettre des faisceaux lasers ; d'une partie de changement de position d'irradiation laser pour déplacer les parties d'irradiation laser par rapport au sens de la largeur et au sens de transport du matériau en feuille ; d'une partie d'enregistrement de configuration d'usinage pour enregistrer l'endroit où les faisceaux lasers doivent être projetés ; et d'une unité de commande pour émettre les faisceaux lasers tout en changeant les positions d'irradiation en fonction d'une configuration d'usinage enregistrée. L'appareil et le procédé sont en outre pourvus d'une partie d'observation de repères et d'une partie de mesure d'intervalle de repères, ladite unité de commande émettant les faisceaux lasers tout en corrigeant et changeant successivement les positions relatives de mouvement de la partie de changement de position d'irradiation laser en fonction des positions des repères et des dimensions entre les repères, et d'informations de configuration prescrite enregistrée.
(JA)成膜後シート状基材が伸縮しやすい場合であっても、適正量のピッチ送りが行えるので、予め規定した線幅や繰り返しピッチの精度を維持して、所定パターン加工をすることができる装置及び方法を提供する。 具体的には、シート材を搬送するシート材搬送部と、シート材を保持する保持部と、レーザを照射するレーザ照射部と、レーザ照射部をシート材の搬送方向及び幅方向に相対移動させるレーザ照射位置変更部と、どの場所にレーザを照射するかを登録する加工パターン登録部と、登録された加工パターンに基づいて照射位置の変更を行いながらレーザを照射する制御部とを備え、基準マーク観察部と、基準マーク間隔計測部とを更に備え、制御部は、基準マークの位置及びマーク間の寸法と、登録された所定パターン情報に基づいて、レーザ照射位置変更部の相対移動位置を逐次補正変更しながら、レーザを照射する装置及び方法である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)