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1. (WO2013058004) WASTE WORKING FLUID RECIRCULATION APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/058004    International Application No.:    PCT/JP2012/069805
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 03.08.2012
IPC:
B23Q 11/10 (2006.01), H01L 21/301 (2006.01)
Applicants: Murata Manufacturing Co.,Ltd. [JP/JP]; 10-1,Higashikotari 1-chome,Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (For All Designated States Except US).
YOSHIDA Tsutomu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOSHIDA Tsutomu; (JP)
Agent: FUKUNAGA Masaya; c/o HOKUSETSU INTERNATIONAL PATENT OFFICE,5F,Daido-Seimei Esaka No.2 Building,23-5,Esaka-cho 1-chome,Suita-shi, Osaka 5640063 (JP)
Priority Data:
2011-230845 20.10.2011 JP
Title (EN) WASTE WORKING FLUID RECIRCULATION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE REMISE EN CIRCULATION DE FLUIDE ACTIF USAGÉ
(JA) 加工廃液循環装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a waste working fluid recirculation apparatus that is capable of circulating working fluid without supplying the working fluid to a processing apparatus, and capable of making the quality and temperature of working fluid more uniform. Working fluid is supplied to a dicing device (1), and then the used working fluid is recycled and resupplied to the dicing device (1). The waste working fluid recirculation apparatus is provided with: a supply tank (15) for storing recycled working fluid; a supply pump (12) for resupplying the recycled working fluid to the dicing device (1); a supply channel (11) for supplying the working fluid to a processing apparatus; and a return pipe (41) for returning the working fluid to the supply tank (15) from partway along the supply channel (11). Inverter control makes it possible to adjust the amount of working fluid supplied by the supply pump (12). When the amount of working fluid supplied is less than a prescribed amount, working fluid is guided to the supply tank (15) through the return pipe (41).
(FR)L'invention concerne un appareil de remise en circulation de fluide actif usagé permettant de remettre en circulation le fluide actif sans fournir le fluide actif à un appareil de traitement et permettant d'uniformiser la qualité et la température du fluide actif. Le fluide actif est fourni à un dispositif de découpage en dés (1), puis le fluide actif utilisé est recyclé et est de nouveau fourni au dispositif de découpage en dés (1). L'appareil de remise en circulation de fluide actif usagé comprend : un réservoir d'alimentation (15) permettant de stocker le fluide actif recyclé ; une pompe d'alimentation (12) permettant de fournir de nouveau le fluide actif recyclé au dispositif de découpage en dés (1) ; un canal d'alimentation (11) permettant de fournir le fluide actif à un appareil de traitement ; et une conduite de retour (41) permettant de retourner le fluide actif vers le réservoir d'alimentation (15) depuis une position située à mi-chemin le long du canal d'alimentation (11). Une commande d'inverseur permet d'ajuster la quantité de fluide actif fournie par la pompe d'alimentation (12). Lorsque la quantité de fluide actif fournie est inférieure à une quantité prédéterminée, le fluide actif est guidé vers le réservoir d'alimentation (15) par le biais de la conduite de retour (41).
(JA)加工液を加工装置へ供給することなく循環させることができ、加工液の品質及び温度の均質化を図ることができる加工廃液循環装置を提供する。ダイシング装置(1)へ加工液を供給し、使用済みの加工液を再生処理してダイシング装置(1)へ再度供給する。再生処理された加工液を貯留する供給タンク(15)と、再生処理された加工液を、再度、ダイシング装置(1)へ供給する供給ポンプ(12)と、加工装置へ加工液を供給する供給経路(11)と、供給経路(11)の中途から供給タンク(15)へ加工液を戻す戻り配管(41)とを備えている。インバータ制御により供給ポンプ(12)の加工液の供給量を変動させることができ、加工液の供給量が所定量より少ない場合、戻り配管(41)を介して供給タンク(15)へ加工液を誘導する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)