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1. (WO2013057638) METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING WAFER-SHAPED ARTICLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/057638    International Application No.:    PCT/IB2012/055507
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 11.10.2012
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH AG [AT/AT]; SEZ-Strasse 1 A-9500 Villach (AT) (For All Designated States Except US).
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, California CA-94538 (US) (BZ only).
TSCHINDERLE, Ulrich [AT/AT]; (AT) (US only).
WIRNSBERGER, Thomas [AT/AT]; (AT) (US only).
GLEISSNER, Andreas [AT/AT]; (AT) (US only).
OBWEGER, Rainer [AT/AT]; (AT) (US only)
Inventors: TSCHINDERLE, Ulrich; (AT).
WIRNSBERGER, Thomas; (AT).
GLEISSNER, Andreas; (AT).
OBWEGER, Rainer; (AT)
Agent: KONTRUS, Gerhard; c/o Lam Research AG SEZ-Strasse 1 A-9500 Villach (AT)
Priority Data:
13/276,940 19.10.2011 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING WAFER-SHAPED ARTICLES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE TRAITER DES ARTICLES SOUS FORME DE TRANCHE
Abstract: front page image
(EN)A device for processing wafer-shaped articles comprises a closed process chamber. The closed process chamber has a side wall, a holder located within the closed process chamber adapted to receive a wafer shaped article, and a door for loading and unloading a wafer shaped article into and from the closed process chamber. The door in a first position blocks an opening in the side wall of the chamber and seals against an interior surface of the side wall of the chamber. The door is connected to an exterior of the chamber via a linkage that guides the door in a nonlinear translational movement between the first position and a second position in which the door is positioned interiorly of the chamber so as to permit loading and unloading of a wafer shaped article through the opening.
(FR)La présente invention a trait à un dispositif permettant de traiter des articles sous forme de tranche, lequel dispositif comprend une chambre de traitement fermée. La chambre de traitement fermée est dotée d'une paroi latérale, d'un élément de support qui se trouve à l'intérieur de la chambre de traitement fermée et qui est conçu de manière à recevoir un article sous forme de tranche, et d'une porte permettant de charger un article sous forme de tranche dans la chambre de traitement fermée et de le décharger à partir de cette dernière. Dans une première position, la porte bloque une ouverture dans la paroi latérale de la chambre et assure l'étanchéité s'appuyant contre la surface intérieure de la paroi latérale de la chambre. La porte est connectée à une partie intérieure de la chambre par l'intermédiaire d'une tringlerie qui guide la porte suivant un mouvement de translation non linéaire entre la première position et une seconde position dans laquelle la porte est positionnée à l'intérieur de la chambre de manière à permettre la charge et la décharge d'un article sous forme de tranche à travers l'ouverture.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)