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1. (WO2013057564) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/057564    International Application No.:    PCT/IB2012/002081
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 17.10.2012
IPC:
H01L 29/78 (2006.01), H01L 29/66 (2006.01)
Applicants: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1, Toyota-cho, Toyota-shi Aichi-ken, 471-8571 (JP) (For All Designated States Except US).
DENSO CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Showa-cho Kariya-shi Aichi-ken, 448-8661 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKAYA, Hidefumi [JP/JP]; (JP) (US only).
MATSUKI, Hideo [JP/JP]; (JP) (US only).
SUZUKI, Naohiro [JP/JP]; (JP) (US only).
ISHIKAWA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (US only).
SOEJIMA, Narumasa [JP/JP]; (JP) (US only).
WATANABE, Yukihiko [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventors: TAKAYA, Hidefumi; (JP).
MATSUKI, Hideo; (JP).
SUZUKI, Naohiro; (JP).
ISHIKAWA, Tsuyoshi; (JP).
SOEJIMA, Narumasa; (JP).
WATANABE, Yukihiko; (JP)
Priority Data:
2011-229183 18.10.2011 JP
Title (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CE DERNIER
Abstract: front page image
(EN)A semiconductor device has a semiconductor substrate including a body region, a drift region, a trench that extends from a surface of the semiconductor substrate into the drift region through the body region, and a source region located adjacent to the trench in a range exposed to the surface of the semiconductor substrate, the source region being isolated from the drift region by the body region. A specific layer is disposed on a bottom of the trench, and it has a characteristic of forming a depletion layer at a junction between the specific layer and the drift region. An insulating layer covers an upper surface of the specific layer and a sidewall of the trench. A conductive portion is formed on a part of the side wall of the trench. The conductive portion is joined to the specific layer, and reaches the surface of the semiconductor substrate.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif à semi-conducteurs qui comprend un substrat semi-conducteur qui comporte une région de corps, une région de dérive, une tranchée qui s'étend depuis une surface du substrat semi-conducteur dans la région de dérive à travers la région de corps, et une région de source située adjacente à la tranchée dans une zone exposée à la surface du substrat semi-conducteur, la région de source étant isolée de la région de dérive par la région de corps. Une couche spécifique est disposée sur la partie inférieure de la tranchée et elle présente la caractéristique de former une couche de déplétion au niveau d'une jonction entre la couche spécifique et la région de dérive. Une couche isolante recouvre une surface supérieure de la couche spécifique et une paroi latérale de la tranchée. Une partie conductrice est formée sur une partie de la paroi latérale de la tranchée. La partie conductrice est unie à la couche spécifique et atteint la surface du substrat semi-conducteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)