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1. (WO2013057443) INJECTION SYSTEM FOR AN APPARATUS FOR DEPOSITING THIN LAYERS BY VACUUM EVAPORATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/057443    International Application No.:    PCT/FR2012/052388
Publication Date: 25.04.2013 International Filing Date: 18.10.2012
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01), C23C 14/22 (2006.01)
Applicants: RIBER [FR/FR]; 31 rue Casimir Périer F-95870 Bezons (FR)
Inventors: GUYAUX, Jean-Louis; (FR).
VILLETTE, Jérôme; (FR).
BRIANT, Nicolas; (FR).
ESTEVE, David; (FR)
Agent: CHAUVIN, Vincent; Cabinet HARLE et PEHLIP 14-16 Rue Ballu F-75009 Paris (FR)
Priority Data:
1159560 21.10.2011 FR
Title (EN) INJECTION SYSTEM FOR AN APPARATUS FOR DEPOSITING THIN LAYERS BY VACUUM EVAPORATION
(FR) SYSTEME D'INJECTION POUR DISPOSITIF DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR EVAPORATION SOUS VIDE
Abstract: front page image
(EN)The present invention concerns an injection system for an apparatus for depositing thin layers by vacuum evaporation, said injection system comprising a reservoir intended to receive a source of material to be evaporated, means of heating the reservoir capable of evaporating said material, at least one injection ramp comprising an inner conduit connected to the reservoir in such a way as to receive said evaporated material coming from the reservoir and a plurality of nozzles, each nozzle comprising at least a communication channel between said inner conduit and the external portion of the ramp in such a way as to discharge the evaporated material into said vacuum evaporation chamber. According to the invention, the injection ramp comprises a plurality of injection modules mechanically connected to each other in series along a longitudinal direction, each injection module comprising a plurality of injection nozzles, and said injection ramp comprises means of adjusting the orientation of said injection modules about said longitudinal direction in such a way as to align said injection nozzles along a line parallel to the longitudinal direction of the injection ramp.
(FR)La présente invention concerne un système d'injection pour dispositif de dépôt de couches minces par évaporation sous vide, ledit système d'injection comprenant un réservoir destiné à recevoir une source de matériau à évaporer, des moyens de chauffage du réservoir aptes à évaporer ledit matériau, au moins une rampe d'injection comprenant un conduit interne relié au réservoir de manière à recevoir ledit matériau évaporé provenant du réservoir et une pluralité de buses, chaque buse comprenant au moins un canal de communication entre ledit conduit interne et la partie extérieure de la rampe de manière à diffuser le matériau évaporé dans ladite chambre d'évaporation sous vide. Selon l'invention, la rampe d'injection comprend une pluralité de modules d'injection reliés mécaniquement entre eux en série le long d'une direction longitudinale, chaque module d'injection comprenant une pluralité de buses d'injection, et ladite rampe d'injection comprend des moyens de réglage en orientation desdits modules d'injection autour de ladite direction longitudinale de manière à aligner lesdites buses d'injection le long d'une ligne parallèle à la direction longitudinale de la rampe d'injection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)