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1. (WO2013056059) APPARATUS AND PROCESS FOR DEPOSITING A THIN LAYER OF RESIST ON A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/056059    International Application No.:    PCT/US2012/059967
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 12.10.2012
IPC:
C23C 18/14 (2006.01)
Applicants: 1366 TECHNOLOGIES INC. [US/US]; 45 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 (US)
Inventors: DANNER, Guy, M.; (US).
GATES, Holly, G.; (US).
TARASOV, Vladimir, S.; (US).
KANE, Peter, E.; (US).
MADDEN, Peter, G.; (US).
SACHS, Emanuel, M.; (US)
Agent: WEISSBURG, Steven, J.; 51 Frost Street Cambridge, MA 02140 (US)
Priority Data:
61/546,384 12.10.2011 US
Title (EN) APPARATUS AND PROCESS FOR DEPOSITING A THIN LAYER OF RESIST ON A SUBSTRATE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT D'UNE FINE COUCHE DE RÉSERVE SUR UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)A thin polymer film is formed on a substrate. An apparatus is described for transforming a solid polymer resist into an aerosol of small particles, electrostatically charging and depositing the particles onto a substrate, and flowing the particles into a continuous layer. An apparatus is further described for transforming solid resist into an aerosol of small particles by heating the resist to form a low viscosity liquid; the liquid being suitable for jet or impact nebulization and aerosol particle sizing to form the aerosol. A method is further described of using ionized gas to confer charge onto the aerosol particles and using a progression of charging devices, establish an electric field directing the flow of charged particles to the substrate. The progression of charging devices and associated apparatus results in high collection efficiency for the aerosol particles.
(FR)La présente invention concerne la formation d'un film de polymère mince sur un substrat. L'appareil est décrit comme transformant une réserve polymère solide en un aérosol de petites particules, chargeant et déposant électrostatiquement les particules sur un substrat et faisant circuler les particules dans une couche continue. L'appareil est en outre décrit comme transformant une réserve solide en un aérosol de petites particules en chauffant la réserve pour former un liquide de faible viscosité de telle sorte qu'il soit compatible avec une nébulisation et en appliquant les techniques de nébulisation par jet ou par impact et de calibrage des particules d'aérosol pour former l'aérosol. L'invention concerne en outre un procédé d'utilisation de gaz ionisé pour conférer une charge aux particules d'aérosol et d'utilisation d'une progression de dispositifs de charge pour établir un champ électrique dirigeant le flux de particules chargées vers le substrat. La progression des dispositifs de charge et de l'appareil associé entraîne une efficacité de collecte élevée des particules d'aérosol.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)