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1. (WO2013056005) NON-CONTACT MAGNETIC DRIVE ASSEMBLY WITH MECHANICAL STOP ELEMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/056005    International Application No.:    PCT/US2012/059888
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 12.10.2012
IPC:
H01L 21/203 (2006.01)
Applicants: FERROTEC (USA) CORPORATION [US/US]; 3945 Freedom Circle, Suite 450 Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: KRONEBERGER, Cris; (US).
PATEL, Bharatkumar; (US)
Agent: DELEAULT, Robert R.; Mesmer & Deleault, PLLC 41 Brook Street Manchester, New Hampshire 03104 (US)
Priority Data:
61/546,433 12.10.2011 US
13/649,703 11.10.2012 US
Title (EN) NON-CONTACT MAGNETIC DRIVE ASSEMBLY WITH MECHANICAL STOP ELEMENTS
(FR) ENSEMBLE D'ENTRAÎNEMENT MAGNÉTIQUE SANS CONTACT DOTÉ D'ÉLÉMENTS D'ARRÊT MÉCANIQUE
Abstract: front page image
(EN)Non-contact magnetic drive assembly with mechanical stop elements for a vacuum deposition system employing a lift-off process having a HULA configuration featuring a plurality of magnets coupled in an annular orientation to a central ring and an orbital ring, each magnet of the orbital ring becomes superposed with a magnet of the central ring as the orbital ring rotates, and a central drive component driving either the central ring, the orbital ring around the central ring or both simultaneously, the central drive component provides a rotational speed allowing non-contact, magnetic drive rotation of the orbital ring around the central ring until a difference between a magnetic drive torque of the superposed magnets and the rotational speed of the central drive component causes the superposed magnets to decouple enabling mechanical drive rotation by interactive contact between a plurality of central ring teeth and a plurality of orbital ring
(FR)La présente invention a trait à un ensemble d'entraînement magnétique sans contact doté d'éléments d'arrêt mécanique destiné à un système de dépôt par évaporation sous vide qui emploie un processus de décollement doté d'une configuration HULA caractérisée par une pluralité d'aimants qui sont couplés suivant une orientation annulaire sur un anneau central et un anneau orbital, chaque aimant de l'anneau orbital se voyant superposé avec un aimant de l'anneau central lorsque l'anneau orbital tourne, et un composant d'entraînement central qui entraîne soit l'anneau central, soit l'anneau orbital autour de l'anneau central soit les deux simultanément, le composant d'entraînement central fournissant une vitesse de rotation permettant d'obtenir une rotation d'entraînement magnétique sans contact de l'anneau orbital autour de l'anneau central jusqu'à ce qu'une différence entre un couple d'entraînement magnétique des aimants superposés et la vitesse de rotation du composant d'entraînement central cause le découplage des aimants superposés ce qui active une rotation d'entraînement mécanique par le contact interactif entre une pluralité de dents de l'anneau central et une pluralité de dents de l'anneau orbital.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)