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1. (WO2013055904) GAS BARRIER WITH VENT RING FOR PROTECTING A SURFACE REGION FROM LIQUID
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/055904    International Application No.:    PCT/US2012/059729
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 11.10.2012
IPC:
H01L 21/20 (2006.01)
Applicants: INTERMOLECULAR, INC. [US/US]
Inventors: KELEKAR, Rajesh; (US)
Agent: HELMS, Aubrey, L., Jr.; Intermolecular, Inc. 3011 N. First Street San Jose, CA 95134 (US)
Priority Data:
13/272,041 12.10.2011 US
Title (EN) GAS BARRIER WITH VENT RING FOR PROTECTING A SURFACE REGION FROM LIQUID
(FR) BARRIÈRE DE GAZ AVEC ANNEAU DE MISE À L'AIR DESTINÉ À PROTÉGER UNE ZONE DE SURFACE D'UN LIQUIDE
Abstract: front page image
(EN)A protective chuck is disposed on a substrate with a gas bearing layer between the bottom surface of the protective chuck and the substrate surface. The gas bearing layer protects a surface region against a fluid layer covering the substrate surface. The protection of the gas bearing is a non-contact protection, reducing or eliminating potential damage to the substrate surface due to friction. The gas bearing can enable combinatorial processing of a substrate, providing multiple isolated processing regions on a single substrate with different material and processing conditions.
(FR)L'invention concerne un mandrin de protection qui est disposé sur un substrat avec une couche de palier à gaz située entre la surface inférieure du mandrin de protection et la surface du substrat. La couche de palier à gaz protège une zone de surface contre une couche liquide couvrant la surface du substrat. La protection du palier à gaz est une protection sans contact, qui réduit ou élimine le risque de dommage à la surface du substrat en raison du frottement. Le palier à gaz peut permettre un traitement combinatoire d'un substrat, en fournissant de multiples zones isolées de traitement sur un substrat unique avec différentes conditions de matériau et de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)