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1. (WO2013054937) MASS SPECTROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/054937    International Application No.:    PCT/JP2012/076743
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 10.10.2012
IPC:
H01J 49/06 (2006.01), H01J 37/252 (2006.01), H01J 49/10 (2006.01), H01J 49/40 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: IWASAKI, Kota; (JP)
Agent: OKABE, Yuzuru; 22F, Marunouchi Kitaguchi Bldg., 1-6-5 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2011-225509 13.10.2011 JP
2012-223084 05.10.2012 JP
Title (EN) MASS SPECTROMETER
(FR) SPECTROMETRE DE MASSE
Abstract: front page image
(EN)In order to solve a problem in a mass spectrometry that a distribution of an emitted ion and substance distribution on the measurement object surface are different from each other, which is due to a shaded portion of an irregular surface which falls under a shadow of primary beam, a primary ion optical system (12) of the present apparatus includes a deflection unit (7) configured to deflect the primary ion in such a manner that the primary ion intersects a flight space of the secondary ion in the course of flight.
(FR)L'invention concerne la résolution d'un problème dans un spectromètre de masse qui consiste en ce qu'une distribution d'un ion émis et une distribution de substance sur la surface d'un objet de mesure sont différentes l'une de l'autre, problème dû à une partie ombragée d'une surface irrégulière qui se trouve sous une ombre d'un faisceau primaire, un système optique d'ion primaire (12) du présent appareil comprend une unité de déflexion (7) configurée de façon à dévier l'ion primaire de telle manière que l'ion primaire croise un espace de vol de l'ion secondaire lors d'un vol.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)