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1. (WO2013054799) ION SOURCE AND ION BEAM DEVICE USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/054799    International Application No.:    PCT/JP2012/076161
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 10.10.2012
IPC:
H01J 27/26 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: SHICHI Hiroyasu; (JP).
MATSUBARA Shinichi; (JP).
OSE Yoichi; (JP).
KAWANAMI Yoshimi; (JP).
ARAI Noriaki; (JP)
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2011-224473 12.10.2011 JP
Title (EN) ION SOURCE AND ION BEAM DEVICE USING SAME
(FR) SOURCE D'IONS ET DISPOSITIF DE FAISCEAU D'IONS UTILISANT CELLE-CI
(JA) イオン源およびそれを用いたイオンビーム装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a charged particle beam microscope which has an emitter tip exhibiting a small mechanical oscillation amplitude, is capable of producing ultra-high resolution sample observation images, and eliminates blurring in the sample observation images. More specifically, provided is a charged particle beam microscope which is equipped with a gas field ionization source having an emitter tip for generating ions, an emitter base mount for supporting the emitter tip, a mechanism for heating the emitter tip, an extraction electrode provided facing the emitter tip, and a mechanism for supplying gas to the vicinity of the emitter tip. The gas field ionization source is characterized in that: the emitter tip heating mechanism heats the emitter tip by electrifying a filament connecting at least two terminals; the terminals are connected by a V-shaped filament; the angle of the V-shape is obtuse; and the emitter tip is connected approximately to the centre of the filament.
(FR)La présente invention porte sur un microscope à faisceaux de particules chargées qui a une pointe d'émetteur présentant une petite amplitude d'oscillation mécanique, qui est apte à produire des images d'observation d'échantillon de résolution ultra-élevée et élimine le flou dans les images d'observation d'échantillon. Plus spécifiquement, la présente invention porte sur un microscope à faisceaux de particules chargées qui est équipé d'une source d'ionisation de champ de gaz ayant une pointe d'émetteur pour générer des ions, un montage de base d'émetteur pour supporter la pointe d'émetteur, un mécanisme pour chauffer la pointe d'émetteur, une électrode d'extraction disposée tournée vers la pointe d'émetteur et un mécanisme pour distribuer un gaz au voisinage de la pointe d'émetteur. La source d'ionisation de champ de gaz est caractérisée en ce que : le mécanisme de chauffage de pointe d'émetteur chauffe la pointe d'émetteur par électrification d'un filament reliant au moins deux bornes ; les bornes sont reliées par un filament en forme de V ; l'angle de la forme V est obtus ; et la pointe d'émetteur est reliée approximativement au centre du filament.
(JA)エミッタティップ先端の機械的振動振幅が小さく、超高分解能の試料観察像が得られ、かつ試料観察像にゆれなどをなくす荷電粒子線顕微鏡を提供する。イオンを生成するエミッタティップと、該エミッタティップを支持するエミッタベースマウントと、該エミッタティップを加熱する機構と、エミッタティップに対向して設けられた引き出し電極と、エミッタティップの近傍にガスを供給する機構と、を有するガス電界電離イオン源において、エミッタティップ加熱機構が、少なくとも2個の端子間を接続するフィラメントに通電して前記エミッタティップを加熱する機構であり、前記端子間がV字状のフィラメントで接続され、V字のなす角度が鈍角であり、前記フィラメントの略中央に前記エミッタティップが接続されたことを特徴とするガス電界電離イオン源を搭載する荷電粒子顕微鏡とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)