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1. (WO2013054163) ALIGNMENT SYSTEM AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/054163    International Application No.:    PCT/IB2012/001713
Publication Date: 18.04.2013 International Filing Date: 05.09.2012
IPC:
H05G 2/00 (2006.01), H01S 3/223 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400 Yokokurashinden Oyama-shi Tochigi 3238558 (JP) (For All Designated States Except US).
MORIYA, Masato [JP/JP]; (JP) (For US Only).
WAKABAYASHI, Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MORIYA, Masato; (JP).
WAKABAYASHI, Osamu; (JP)
Priority Data:
2011-224213 11.10.2011 JP
Title (EN) ALIGNMENT SYSTEM AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION D'UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Abstract: front page image
(EN)An alignment system for a laser apparatus includes a guide laser device outputting a guide laser beam, an adjusting mechanism adjusting travel directions of the guide laser beam and a laser beam from the laser apparatus, a beam path combiner controlling travel directions of the laser beam and the guide laser beam to substantially coincide with each other, a first optical detection unit provided from the beam path combiner detecting the laser and guide laser beams, a first controller controlling the adjusting mechanism based on a first optical detection unit detection result, a beam steering unit downstream from the beam path combiner controlling travel directions of the laser and guide laser beams, a second optical detection unit downstream from the beam steering unit detecting the guide laser beam, and a second controller controlling the beam steering unit based on a second optical detection unit detection result.
(FR)Cette invention concerne un système d'alignement pour un appareil laser, comprenant un dispositif laser de guidage émettant un faisceau laser de guidage, et un mécanisme d'ajustement ajustant les directions de déplacement du faisceau laser de guidage et d'un faisceau laser issu de l'appareil laser. Ledit système d'alignement comprend en outre un combinateur de trajet de faisceau contrôlant les directions de déplacement du faisceau laser et du faisceau laser de guidage de façon à les faire sensiblement coïncider. Ledit système d'alignement comprend de plus une première unité de détection optique disposée en aval du combinateur de trajet de faisceau de façon à détecter les faisceaux laser et laser de guidage, et un premier contrôleur contrôlant le mécanisme d'ajustement sur la base d'un résultat de détection de la première unité de détection optique a first. Ledit système d'alignement comprend enfin une unité de pilotage de faisceau disposée en aval du combinateur de trajet de faisceau contrôlant les directions de déplacement des faisceaux laser et laser de guidage, une seconde unité de détection optique disposée en aval de l'unité de pilotage de faisceau de façon à détecter le faisceau laser de guidage, et un second contrôleur contrôlant l'unité de pilotage de faisceau sur la base d'un résultat de détection de la seconde unité de détection optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)