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Pub. No.:    WO/2013/052520    International Application No.:    PCT/US2012/058515
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 03.10.2012
B65G 49/07 (2006.01)
Applicants: DENTON VACUUM, L.L.C. [US/US]; 1259 North Church Street Moorestown, NJ 08057 (US)
Inventors: ABIVA, Julius, R.; (US).
MORAN, Thomas, W., Jr.; (US).
MARQUES, Paulo, J.; (US).
NOLAN, Michael, P.; (US)
Agent: LETCHFORD, John, F.; Archer & Greiner, P.C. One Centennial Square P.O. Box 3000 Haddonfield, NJ 08033 (US)
Priority Data:
61/542,320 03.10.2011 US
Abstract: front page image
(EN)A wafer treatment system including a load lock chamber in communication with a process chamber. At least one cradle is provided in the load lock chamber, each cradle being adapted to receive a wafer-holding cassette. The wafers contained in the cassettes assume angularly justified positions. A multiaxial transfer unit picks up wafers from the cassettes and delivers them to the process chamber for treatment after which they are returned to the cassettes. Because all of the wafers lean in the same direction and to the same degree in their cassette slots, an end effector carried by the multiaxial transfer unit can reliably capture and release the wafers in order to consistently remove them from and place them into the cassettes.
(FR)L'invention porte sur un système de traitement de tranche, lequel système comprend une chambre de sas de chargement en communication avec une chambre de traitement. Au moins un berceau est disposé dans la chambre de sas de chargement, chaque berceau étant apte à recevoir une cassette de support de tranches. Les tranches contenues dans la cassette prennent des positions justifiées de façon angulaire. Une unité de transfert multiaxiale saisit des tranches à partir des cassettes et les délivre à la chambre de traitement pour un traitement, après quoi elles sont renvoyées aux cassettes. Du fait que toutes les tranches penchent dans la même direction et du même degré dans leurs fentes de cassette, un effecteur terminal porté par l'unité de transfert multiaxiale peut capturer et libérer de façon fiable les tranches de façon à les retirer à partir des cassettes et à les disposer dans celles-ci de façon constante.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)