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1. (WO2013051594) X-RAY DEVICE, X-RAY IRRADIATION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/051594    International Application No.:    PCT/JP2012/075612
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 03.10.2012
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: WATANABE, Takashi; (JP)
Agent: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
2011-220259 04.10.2011 JP
Title (EN) X-RAY DEVICE, X-RAY IRRADIATION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR STRUCTURE
(FR) DISPOSITIF DE RAYONS X, PROCÉDÉ D'IRRADIATION DE RAYONS X ET PROCÉDÉ DE FABRICATION POUR STRUCTURE
(JA) X線装置、X線照射方法、及び構造物の製造方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is an x-ray device capable of suppressing reduction in detection precision. The x-ray device irradiates x-rays on an object and detects x-rays that pass through the object. The x-ray device comprises: an x-ray source that emits x-rays; a stage that holds the object; a detection device that detects at least some of the x-rays that have been emitted from the x-ray source and have passed through the object; a chamber member that forms an internal space wherein the x-ray source, the stage, and the detection device are arranged; and a partitioning section that separates the internal space into a first space wherein the x-ray source is arranged and a second space wherein the detection device is arranged.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif de rayons X apte à supprimer une réduction dans la précision de détection. Le dispositif de rayons X irradie des rayons X sur un objet et détecte des rayons X qui passent à travers l'objet. Le dispositif de rayons X comprend : une source de rayons X qui émet des rayons X ; une platine qui maintient l'objet ; un dispositif de détection qui détecte au moins certains des rayons X qui ont été émis par la source des rayons X et sont passés à travers l'objet ; un élément chambre qui forme un espace intérieur dans lequel la source de rayons X, la platine et le dispositif de détection sont agencés ; et une section de séparation qui sépare l'espace intérieur en un premier espace dans lequel la source de rayons X est agencée et un second espace dans lequel le dispositif de détection est agencé.
(JA) 検出精度の低下を抑制できるX線装置を提供する。 X線装置は、物体にX線を照射して物体を通過するX線を検出する。X線装置は、X線を射出するX線源と、物体を保持するステージと、X線源から射出され、物体を通過したX線の少なくとも一部を検出する検出装置と、X線源、ステージ、及び検出装置が配置される内部空間を形成するチャンバ部材と、内部空間を、X線源が配置される第1空間と検出装置が配置される第2空間とに分ける仕切部と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)