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1. (WO2013051068) INERTIAL SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/051068    International Application No.:    PCT/JP2011/005644
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 07.10.2011
G01P 15/08 (2006.01), G01C 19/5783 (2012.01), G01P 15/125 (2006.01)
Applicants: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKANO, Hideaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
GOTO, Yasushi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAKUBO, Chisaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAMANAKA, Kiyoko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAITO, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKANO, Hideaki; (JP).
GOTO, Yasushi; (JP).
TAKUBO, Chisaki; (JP).
YAMANAKA, Kiyoko; (JP).
NAITO, Takashi; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
(JA) 慣性センサ
Abstract: front page image
(EN)In order to highly accurately control a gap between a movable portion (101) and a fixed electrode (201) in a sensor that detects an inertial force operating in the direction perpendicular to a substrate surface, the sensor has a structure wherein a conductor layer (131) and a cover (200) are bonded using fired glass films (300, 301), and a plurality of particles of a filler (302) are contained in the fired glass films. The structure makes it possible to control the gap by means of the particle diameter of the filler, and the inertial sensor having higher accuracy and lower cost can be provided.
(FR)Selon la présente invention, afin de commander de manière hautement précise un intervalle entre une partie mobile (101) et une électrode fixe (201) dans un capteur qui détecte une force inertielle mise en œuvre dans la direction perpendiculaire à une surface de substrat, le capteur a une structure dans laquelle une couche de conducteur (131) et une couverture (200) sont liées à l'aide de films de verre cuits (300, 301), et une pluralité de particules d'une charge (302) sont contenues dans les films de verre cuits. La structure rend possible de commander l'intervalle au moyen du diamètre de particule de la charge, et on peut fournir un capteur inertiel ayant une précision supérieure et un coût réduit.
(JA) 基板面に垂直な方向に働く慣性力を検出するセンサにおいて、可動部(101)と固定電極(201)の間のギャップ制御を高精度で行うため、導電体層(131)と蓋(200)をガラス焼成塗膜(300、301)で接合し、ガラス焼成塗膜内に複数のフィラー(302)を含む構造とする。係る構造により、当該ギャップをフィラーの粒径で制御することが可能となり、より高精度またはより安価な慣性センサを提供しうる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)