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1. (WO2013051064) MEMS SWITCH
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/051064    International Application No.:    PCT/JP2011/005632
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 06.10.2011
IPC:
H01H 57/00 (2006.01)
Applicants: FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588 (JP) (For All Designated States Except US).
TOYODA, Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHIMANOUCHI, Takeaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TOYODA, Osamu; (JP).
SHIMANOUCHI, Takeaki; (JP)
Agent: TAKAHASHI, Keishiro; TAKAHASHI & KITAYAMA 6th Fl., New Jied Bldg., 3-22-8, Ueno, Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
Priority Data:
Title (EN) MEMS SWITCH
(FR) COMMUTATEUR MEMS
(JA) MEMSスイッチ
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a MEMS switch that is easy to manufacture and with which sticking can be controlled effectively. [Solution] This MEMS switch has: a fixed support part; a plate-shaped flexible beam having a movable surface at least one end of which is affixed to and extends from the fixed support part; a movable electrical contact arranged on the movable surface of the flexible beam; a fixed electrical contact, the position of which is fixed with respect to the fixed support part, and which opposes the movable electrical contact; a first piezoelectric drive element, which extends above the movable surface of the flexible beam from the fixed support part toward the movable electrical contact, and is capable of displacing the movable electrical contact toward the fixed electrical contact by means of voltage driving; and a second piezoelectric drive element, which is arranged on at least the movable surface of the flexible beam, and which, by means of voltage driving, drives the movable part of the flexible beam in a direction in which the movable electrical contact separates from the fixed electrical contact.
(FR)L'objectif est de fournir un commutateur MEMS qui est facile à fabriquer et qui permet de supprimer efficacement le problème de collage. À cet effet, le commutateur MEMS comprend : une partie fixe de support ; une poutre flexible en forme de plaque possédant une surface mobile dont au moins une extrémité est fixée sur la partie fixe de support et s'étend à partir de celle-ci ; un contact électrique mobile disposé sur la surface mobile de la poutre flexible ; un contact électrique fixe dont la position est fixe par rapport à la partie fixe de support et qui est opposé au contact électrique mobile ; un premier élément de commande piézoélectrique qui s'étend au-dessus de la surface mobile de la poutre flexible en partant de la partie fixe de support, en direction du contact électrique mobile, et qui est en mesure de déplacer le contact électrique mobile en direction du contact électrique fixe sous l'effet d'une tension de commande ; et un second élément de commande piézoélectrique qui est disposé sur au moins la surface mobile de la poutre flexible et qui, sous l'effet de la tension de commande, déplace la partie mobile de la poutre flexible dans une direction dans laquelle le contact électrique mobile s'éloigne du contact électrique fixe.
(JA)【課題】 製造が容易で、スティッキングを有効に抑制できるMEMSスイッチを提供する。 【解決手段】 MEMSスイッチは、固定支持部と、固定支持部に少なくとも1端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、固定支持部に対する位置が固定され、可動電気接点に対向する固定電気接点と、固定支持部から可動電気接点に向かって、可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより可動電気接点を固定電気接点に向かって変位させることのできる第1圧電駆動素子と、少なくとも可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより可動電気接点が固定電気接点から離れる向きに、可撓梁の可動部を駆動する第2圧電駆動素子と、を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)