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1. (WO2013050805) SUBSTRATE TURNING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/050805    International Application No.:    PCT/IB2011/054403
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 06.10.2011
IPC:
H01L 21/687 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: ROTH & RAU AG [DE/DE]; An der Baumschule 6-8 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE) (For All Designated States Except US).
MAI, Joachim [DE/DE]; (DE) (For US Only).
OELSNER, Daniel [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RICHTER, Thilo [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HELBIG, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EISMANN, Lutz [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MAI, Joachim; (DE).
OELSNER, Daniel; (DE).
RICHTER, Thilo; (DE).
HELBIG, Thomas; (DE).
EISMANN, Lutz; (DE)
Agent: STENIGER, Carmen; Ricarda-Huch-Strasse 4 09116 Chemnitz (DE)
Priority Data:
Title (DE) SUBSTRATWENDEEINRICHTUNG
(EN) SUBSTRATE TURNING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RETOURNEMENT DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substratwendeeinrichtung für eine Substratbearbeitungsanlage zur Bearbeitung von plattenförmigen Substraten, wobei die Substratbearbeitungsanlage eine Durchlaufanlage mit wenigstens zwei Prozesskammern und wenigstens einer Trennkammer zwischen den Prozesskammern ist und wenigstens einen, in wenigstens einer Transportrichtung für die Substrate durch die Durchlaufanlage bewegbaren Substratträger mit mehreren, in einer horizontalen Ebene nebeneinander und/oder nacheinander angeordneten rahmenförmigen, innen offenen Trägerzellen zur Auflage jeweils eines Substrates an Substratrandbereichen aufweist. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Substratwendeeinrichtung der genannten Gattung zur Verfügung zu stellen, bei welcher das Wenden der Substrate während ihres Durchlaufs auf einem Substratträger durch die Substratbearbeitungsanlage möglich ist, wobei der Energiebedarf beim Wenden der Substrate möglichst gering ist und die Substrate optimal bearbeitet werden können. Darüber hinaus soll die Substratbearbeitungsanlage mit einem möglichst geringen Footprint und geringen Herstellungskosten zur Verfügung gestellt werden können. Die Aufgabe wird durch eine Substratwendeeinrichtung der genannten Gattung gelöst, wobei in der Trennkammer wenigstens eine Wendestation vorgesehen ist, an welcher unter den Trägerzellen ein vertikal bewegbares oder ausfahrbares Substrathubsystem zum Heben und Absenken der Substrate aus bzw. in die Trägerzellen vorgesehen ist, und über den Trägerzellen ein Substratwendemechanismus mit relativ zueinander bewegbaren Halteelementen zum Halten der Substrate an zwei gegenüber liegenden Substratrandbereichen vorgesehen ist, wobei die Halteelemente oder Drehachsen der Halteelemente durch quer zu den Halteelementen oder den Drehachsen vorgesehene Verbindungselemente in Form eines Rahmens verbunden sind und der Rahmen um seine horizontale Mittelachse um wenigstens 180° drehbar ist.
(EN)The invention relates to a substrate turning device for a substrate processing system for processing plate-shaped substrates, wherein the substrate processing system is a pass-through system having at least two process chambers and at least one separating chamber between the process chambers and has at least one substrate carrier that can be moved through the pass-through system in at least one transport direction for the substrates, said substrate carrier having several frame-shaped, internally open carrier cells arranged one next to the other and/or one after the other in a horizontal plane for supporting one substrate each at substrate edge areas. The aim of the invention is to provide a substrate turning device of the stated type by means of which the substrates can be turned while the substrates pass through the substrate processing system on a substrate carrier, wherein the energy requirement for the turning of the substrates is as low as possible and the substrates can be optimally processed. Furthermore, it should be possible to provide the substrate processing system with the smallest possible footprint and low production costs. The aim is achieved by a substrate turning device of the stated type, wherein at least one turning station is provided in the separating chamber, at which turning station a vertically movable or extendable substrate lifting system for lifting the substrates out of and lowering the substrates into the carrier cells is provided below the carrier cells, and a substrate turning mechanism having retaining elements that can be moved relative to each other for retaining the substrates at two opposite substrate edge areas is provided above the substrate cells, wherein the retaining elements or rotational axes of the retaining elements are connected in the form of a frame by connecting elements provided perpendicular to the retaining elements or the rotational axes and the frame can be rotated by at least 180° about the horizontal center axis of the frame.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de retournement de substrats destiné à une installation de traitement de substrats se présentant sous forme de plaques, l'installation de traitement de substrats étant une installation en continu comprenant au moins deux chambres de traitement et au moins une chambre de séparation située entre les deux chambres de traitement, ladite installation présentant au moins un support de substrat, mobile dans au moins un sens de transport des substrats à travers l'installation en continu et équipé de plusieurs cellules porteuses ouvertes à l'intérieur, en forme de cadre, disposées les unes à côté des autres et/ou les unes à la suite des autres dans un plan horizontal et conçues pour recevoir respectivement un substrat au niveau des zones marginales dudit substrat. L'invention vise à disposer d'un dispositif de retournement de substrat du type mentionné, pour lequel le retournement des substrats est possible pendant leur passage sur un support de substrat à travers l'installation de traitement de substrats, le retournement de substrats impliquant le besoin énergétique le plus faible possible et les substrats devant pouvoir être traités de façon optimale. En outre, l'installation de traitement de substrats doit pouvoir être mise à disposition avec un encombrement aussi réduit que possible et à des coûts de fabrication peu élevés. A cet effet, il est prévu d'utiliser un dispositif de retournement de substrat du type cité. Dans la chambre de séparation, il se trouve au moins une station de retournement au niveau de laquelle est prévu, sous les cellules porteuses, un système de levage de substrats, mobile ou télescopique dans le sens vertical, servant à soulever des substrats hors des cellules porteuses ou à les faire descendre dedans. Au-dessus des dites cellules porteuses est prévu un mécanisme de retournement de substrats comportant des éléments de retenue mobiles les uns par rapport aux autres et destinés à maintenir des substrats au niveau de deux zones marginales opposées du substrat. Les éléments de retenue ou leurs axes de rotation sont reliés par des éléments de liaison disposés transversalement aux éléments de retenue ou aux axes de rotation, sous forme de cadre et ledit cadre pouvant pivoter d'au moins 180° sur son axe central horizontal.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)