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1. (WO2013050533) VOLUME WAVE RESONATORS ON MICROMACHINED VERTICAL STRUCTURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/050533    International Application No.:    PCT/EP2012/069726
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 05.10.2012
IPC:
H03H 9/17 (2006.01), H03H 3/04 (2006.01), H03H 9/13 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01)
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S) [FR/FR]; 3, rue Michel Ange F-75016 Paris (FR).
UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE [FR/FR]; 1, rue Claude Goudimel F-25030 Besancon Cedex (FR).
CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES [FR/FR]; 2, Place Maurice Quentin F-75001 Paris (FR).
ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DE MECANIQUE ET DES MICROTECHNIQUES [FR/FR]; 26 chemin de l'Epitaphe F-25030 Besançon Cedex (FR)
Inventors: BALLANDRAS, Sylvain; (FR).
ULLIAC, Gwenn; (FR).
EDOUARD-GUICHARDAZ, Blandine; (FR).
BARON, Thomas; (FR).
RAUCH, Jean-Yves; (FR)
Agent: DOMENEGO, Bertrand; Cabinet Lavoix 2, place d'Estienne d'Orves F-75009 Paris (FR)
Priority Data:
1158964 05.10.2011 FR
Title (EN) VOLUME WAVE RESONATORS ON MICROMACHINED VERTICAL STRUCTURES
(FR) RÉSONATEURS À ONDES DE VOLUME SUR STRUCTURES VERTICALES MICRO-USINÉES
Abstract: front page image
(EN)A volume wave piezoelectric resonator operating at a predetermined frequency comprises a substrate block (4), a carrier having a plane face (16) and a first thickness e1 and consisting of a first material, a resonant plate (6) having a length L, a width I and a second thickness e2, and consisting of a second piezoelectric material, first and second metal electrodes (12, 14) at least partly covering the resonant plate (6) on each side and least partially facing each other. The resonant plate (6) is fixed perpendicularly in the vicinity of the plane face (16) of the substrate block (4) so ​​that the width of the resonant plate (6) and the first thickness of the substrate block have the same direction, and the first material, the second material, the first thickness of the substrate block, the length, the width I, the second thickness of the resonant plate are configured for trapping volume waves at the operating frequency of the resonator and for producing a plane-to-plane type volume wave piezoelectric resonator, i.e. with volume waves propagating in the direction of the thickness of the resonant plate.
(FR)Un résonateur piézoélectrique à ondes de volume fonctionnant à une fréquence prédéterminée comprend un bloc de substrat (4), porteur ayant une face plane (16) et une première épaisseur e1 et constitué en un premier matériau, une plaque résonnante (6) possédant une longueur L, une largeur I et une deuxième épaisseur e2, et constituée en un deuxième matériau piézoélectrique, une première et une deuxième électrodes métalliques (12, 14) recouvrant au moins en partie la plaque résonnante (6) de part et d'autre et au moins partiellement en vis-à-vis. La plaque résonnante (6) est fixée perpendiculairement au voisinage de la face plane (16) du bloc de substrat (4) de sorte que la largeur de la plaque résonnante (6) et la première épaisseur du bloc de substrat ont un même sens, et le premier matériau, le deuxième matériau, la première épaisseur du bloc de substrat, la longueur, la largeur I, la deuxième épaisseur de la plaque résonnante sont configurés pour piéger des ondes de volume à la fréquence de fonctionnement du résonateur et pour réaliser un résonateur piézoélectrique à ondes de volume de type plan-plan, c'est-à-dire des ondes de volumes se propageant dans le sens de l'épaisseur de la plaque résonnante.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)