WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2013050081) METHOD FOR CONTROLLING A MOTION OF OPTICAL ELEMENTS IN LITHOGRAPHY SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/050081    International Application No.:    PCT/EP2011/067532
Publication Date: 11.04.2013 International Filing Date: 07.10.2011
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GmbH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
KWAN, Yim-Bun-Patrick [GB/DE]; (DE) (For US Only).
LARO, Dick Antonius Hendrikus [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: KWAN, Yim-Bun-Patrick; (DE).
LARO, Dick Antonius Hendrikus; (NL)
Agent: CARL ZEISS AG - Patentabteilung; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE)
Priority Data:
Title (EN) METHOD FOR CONTROLLING A MOTION OF OPTICAL ELEMENTS IN LITHOGRAPHY SYSTEMS
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN MOUVEMENT D'ÉLÉMENTS OPTIQUES DANS DES SYSTÈMES LITHOGRAPHIQUES
Abstract: front page image
(EN)A Method for controlling a vibrating optical element (2) of a lithographic system the optical element (2) having a predetermined number of degrees of freedom comprises: detecting a number of displacements of the optical element (2), each displacement corresponding to a degree of freedom, wherein the number of detected displacements is larger than the number of degrees of freedom; for each displacement according to a degree of freedom, generating a sensor signal (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) corresponding to a movement in a degree of freedom; wherein the optical element moves as a function of a rigid body transformation matrix (Ty), the optical element movement including a first type of movement and a second type of movement; and modifying the sensor signals (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) as a function of a modified transformation matrix, wherein the modified transformation matrix at least partially reduces at least one eigen mode or resonance of one of the first type of movements or the second type of movements.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de commander un élément optique vibrant (2) d'un système lithographique, ledit élément optique (2) comportant un nombre prédéterminé de degrés de liberté. Ce procédé comprend les étapes consistant à : détecter le nombre de déplacements de l'élément optique (2), chaque déplacement correspondant à un degré de liberté, le nombre de déplacements détectés étant supérieur au nombre de degrés de liberté ; pour chaque déplacement selon un degré de liberté, produire un signal de capteur (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) correspondant à un déplacement dans un degré de liberté ; l'élément optique se déplace en fonction d'une matrice de transformation d'un corps rigide (Ty), le déplacement de l'élément optique comprenant un premier type de mouvement et un second type de mouvement ; et modifier les signaux de capteur (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) en fonction d'une matrice de transformation modifiée, ladite matrice de transformation modifiée permettant de réduire au moins partiellement au moins un mode caractéristique ou une résonance du premier ou du second type de mouvements.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)