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1. (WO2013049671) CASCADED ELECTROSTATIC ACTUATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/049671    International Application No.:    PCT/US2012/058057
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.09.2012
IPC:
H02N 1/00 (2006.01)
Applicants: DIGITALOPTICS CORPORATION MEMS [US/US]; 400 East Live Oak Avenue Arcadia, California 91006 (US).
GUTIERREZ, Roman C. [US/US]; (US) (US only)
Inventors: GUTIERREZ, Roman C.; (US)
Agent: CARTE, Norman E.; Haynes And Boone, LLP IP Docketing Department 2323 Victory Avenue, Suite 700 Dallas, Texas 75219-7673 (US)
Priority Data:
13/247,847 28.09.2011 US
Title (EN) CASCADED ELECTROSTATIC ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR ÉLECTROSTATIQUE EN CASCADE
Abstract: front page image
(EN)A cascaded electrostatic actuator can be formed from a substantially planar substrate. The cascaded electrostatic actuator can be formed in a plane of the substrate. Various embodiments are described. For example, a motion of the cascaded electrostatic actuator can be substantially within the plane of the substrate. As a further example, the cascaded electrostatic actuator can have a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes proximate the plurality of first electrodes. A gap can be formed between the first electrodes and the second electrodes. The gap can be substantially orthogonal with respect to the plane of the substrate.
(FR)L'invention concerne un actionneur électrostatique en cascade qui peut être formé sur un substrat sensiblement plane. Cet actionneur électrostatique en cascade peut être formé dans le plan du substrat. Différents modes de réalisation sont décrits. Par exemple, l'actionneur électrostatique en cascade peut être déplacé sensiblement dans le plan du substrat. Dans un autre exemple, l'actionneur électrostatique en cascade peut comporter une pluralité de premières électrodes et une pluralité de deuxièmes électrodes disposées à proximité de la pluralité de premières électrodes. Un interstice peut être formé entre les premières électrodes et les deuxièmes électrodes. Cet interstice peut s'étendre de manière sensiblement orthogonale par rapport au plan du substrat.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)