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1. (WO2013049550) IN-LINE DEPOSITION SYSTEM AND PROCESS FOR DEPOSITION OF A THIN FILM LAYER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/049550    International Application No.:    PCT/US2012/057884
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.09.2012
IPC:
C23C 14/04 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01), C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), C23C 14/58 (2006.01), C23C 14/18 (2006.01), B65G 15/02 (2006.01), B65G 15/56 (2006.01)
Applicants: PRIMESTAR SOLAR, INC. [US/US]; 14401 West 65th Way, Unit B Arvada, CO 80004 (US)
Inventors: BLACK, Russell, Weldon; (US).
RATHWEG, Christopher; (US).
FELDMAN-PEABODY, Scott, Daniel; (US)
Agent: DIMAURO, Peter, T.; General Electric Company 2 Corporate Drive, Suite 648 Shelton, CT 06484 (US)
Priority Data:
13/249,818 30.09.2011 US
Title (EN) IN-LINE DEPOSITION SYSTEM AND PROCESS FOR DEPOSITION OF A THIN FILM LAYER
(FR) SYSTÈME DE DÉPÔT EN LIGNE ET PROCÉDÉ POUR DÉPÔT D'UNE COUCHE DE FILM MINCE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for vapor deposition of a sublimated source material as a thin film on a substrate is provided. The apparatus includes a receptacle configured to hold a source material and a distribution plate positioned above the receptacle. The distribution plate defines a pattern of passages therethrough. The apparatus also includes a conveyor configured to travel in a continuous loop such that its transfer surface passes above the distribution plate in a first direction to receive thereon sublimated source material passing through the passages of the distribution plate. The conveyor is also configured to travel in a second direction while carrying a substrate on its raised edges. A heating system heats the conveyor while it travels in the second direction to transfer the source material from the transfer surface to the substrate. A process is provided for vapor deposition of a sublimated source material to form thin film.
(FR)La présente invention porte sur un appareil pour dépôt en phase vapeur d'une matière de source sublimée en tant que film mince sur un substrat. L'appareil comprend un réceptacle configuré pour contenir une matière de source et une plaque de distribution positionnée au-dessus du réceptacle. La plaque de distribution définit un motif de passages à travers celle-ci. L'appareil comprend également un transporteur configuré pour se déplacer en une boucle continue de telle sorte que sa surface de transfert passe au-dessus de la plaque de distribution dans une première direction pour recevoir sur celle-ci une matière de source sublimée passant à travers les passages de la plaque de distribution. Le transporteur est également configuré pour se déplacer dans une seconde direction tout en transportant un substrat sur ses bords relevés. Un système de chauffage chauffe le transporteur alors qu'il se déplace dans la seconde direction pour transférer la matière de source de la surface de transfert au substrat. La présente invention porte sur un procédé pour dépôt en phase vapeur d'une matière de source sublimée pour former un film mince.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)