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Pub. No.:    WO/2013/047648    International Application No.:    PCT/JP2012/074867
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 27.09.2012
H01L 21/683 (2006.01), B23Q 3/15 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Applicants: TOTO LTD. [JP/JP]; 1-1, Nakashima 2-chome, Kokurakita-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 8028601 (JP) (For All Designated States Except US).
WADA, Takuma [JP/JP]; (JP) (US only).
ANADA, Kazuki [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventors: WADA, Takuma; (JP).
ANADA, Kazuki; (JP)
Agent: HYUGAJI, Masahiko; Kannai ST Bldg., 4-1, Onoe-cho 1-chome, Naka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2310015 (JP)
Priority Data:
2011-217488 30.09.2011 JP
2012-208984 21.09.2012 JP
(JA) 静電チャック
Abstract: front page image
(EN)This electrostatic chuck is characterized in being provided with: a ceramic dielectric substrate, which has a first main surface having an attracted subject placed thereon, and a second main surface on the reverse side of the first main surface; electrodes disposed between the first main surface and the second main surface of the ceramic dielectric substrate; and a connecting section, which is connected to the electrodes on the side further towards the second main surface than the electrodes of the ceramic dielectric substrate, and has a first region in contact with the electrodes. The electrostatic chuck is also characterized in that, when the direction from the first main surface towards the second main surface is set as a first direction, and the direction that orthogonally intersects the first direction is set as a second direction, in a first region cross section viewed in the second direction of the electrodes and the connecting section, out of angles formed with an extending line along the electrode outer shape on the second main surface, and a tangent line of the outer shape of the connecting section, an angle on the connecting section side gradually increases in the first direction.
(FR)La présente invention porte sur un mandrin électrostatique qui est caractérisé en ce qu'il comporte : un substrat diélectrique céramique, qui a une première surface principale ayant un sujet attiré placé sur celle-ci et une seconde surface principale sur le côté inverse de la première surface principale; des électrodes disposées entre la première surface principale et la seconde surface principale du substrat diélectrique céramique; et une section de liaison, qui est reliée aux électrodes sur le côté plus vers la seconde surface principale que vers les électrodes du substrat diélectrique céramique, et a une première région en contact avec les électrodes. Le mandrin électrostatique est également caractérisé en ce que, lorsque la direction depuis la première surface principale vers la seconde surface principale est définie en tant que première direction et que la direction qui coupe perpendiculairement la première direction est définie en tant que seconde direction, dans une coupe transversale de première région vue dans la seconde direction des électrodes et de la section de liaison, en dehors d'angles formés par une ligne s'étendant le long de la forme extérieure d'électrode sur la seconde surface principale et une ligne tangente à la forme extérieure de la section de liaison, un angle sur le côté section de liaison augmente progressivement dans la première direction.
(JA) 本発明による静電チャックは、被吸着物を載置する第1主面と、前記第1主面とは反対側の第2主面と、を有するセラミック誘電体基板と、前記セラミック誘電体基板の前記第1主面と前記第2主面とのあいだに介設された電極と、前記セラミック誘電体基板の前記電極よりも前記第2主面側において前記電極と接続され、前記電極と接する第1領域を有する接続部と、を備え、前記第1主面から前記第2主面に向かう方向を第1方向、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1領域は、前記電極及び前記接続部の前記第2方向にみた断面において、前記電極の前記第2主面側の外形に沿った延長線と、前記接続部の外形の接線と、のなす角度のうち前記接続部側の角度が前記第1方向に徐々に大きくなることを特徴とする静電チャックが提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)