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1. (WO2013047588) THERMAL SPRAY POWDER AND FILM THAT CONTAIN RARE-EARTH ELEMENT, AND MEMBER PROVIDED WITH FILM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/047588    International Application No.:    PCT/JP2012/074718
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 26.09.2012
IPC:
C23C 4/10 (2006.01)
Applicants: FUJIMI INCORPORATED [JP/JP]; 1-1, Chiryo 2-chome, Nishibiwajima-cho, Kiyosu-shi, Aichi 4528502 (JP) (For All Designated States Except US).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
MIZUNO, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (US only).
KITAMURA, Junya [JP/JP]; (JP) (US only).
KOBAYASHI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventors: MIZUNO, Hiroaki; (JP).
KITAMURA, Junya; (JP).
KOBAYASHI, Yoshiyuki; (JP)
Agent: ONDA, Hironori; 12-1, Ohmiya-cho 2-chome, Gifu-shi, Gifu 5008731 (JP)
Priority Data:
2011-209564 26.09.2011 JP
Title (EN) THERMAL SPRAY POWDER AND FILM THAT CONTAIN RARE-EARTH ELEMENT, AND MEMBER PROVIDED WITH FILM
(FR) POUDRE DE PULVÉRISATION THERMIQUE ET FILM QUI CONTIENNENT DES ÉLÉMENTS DE TERRES RARES, ET ÉLÉMENT POURVU DU FILM
(JA) 希土類元素を含んだ溶射用粉末及び皮膜、並びに前記皮膜を備えた部材
Abstract: front page image
(EN)This thermal spray powder contains a rare-earth element, and at least one element which is a diluent element that is not a rare-earth element or oxygen, and which is selected from, for example, zinc, silicon, boron, phosphorous, titanium, calcium, strontium and magnesium. A sintered body of a single oxide of the diluent element has an erosion rate under specific etching conditions that is at least five times the erosion rate of a yttrium oxide sintered body under the same etching conditions.
(FR)La présente invention se rapporte à une poudre de pulvérisation thermique qui contient un élément de terres rares, et au moins un élément qui est un élément diluant qui n'est pas un élément de terres rares ou l'oxygène, et qui est sélectionné parmi, par exemple, le zinc, le silicium, le bore, le phosphore, le titane, le calcium, le strontium et le magnésium. Un corps fritté en un seul oxyde de l'élément diluant présente un taux d'érosion dans des conditions de gravure spécifiques qui est égal à au moins cinq fois le taux d'érosion d'un corps fritté en oxyde d'yttrium dans les mêmes conditions de gravure.
(JA)本発明の溶射用粉末は、希土類元素と、希土類元素以外でかつ酸素以外の元素である希釈元素、例えば亜鉛、ケイ素、ホウ素、リン、チタン、カルシウム、ストロンチウム及びマグネシウムから選ばれる一以上の元素とを含んでいる。希釈元素の単一酸化物の焼結体は、特定のエッチング条件下でのエロージョンレートが、同じエッチング条件下での酸化イットリウム焼結体のエロージョンレートの5倍以上である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)