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1. (WO2013047519) DRIVE DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/047519    International Application No.:    PCT/JP2012/074558
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 25.09.2012
IPC:
F16H 37/06 (2006.01), B25J 17/00 (2006.01), F16H 25/18 (2006.01), F16H 57/029 (2012.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: HIROKI Tsutomu; (JP).
KATO Toshinao; (JP)
Agent: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2011-218121 30.09.2011 JP
Title (EN) DRIVE DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) DISPOSITIF D'ENTRAÎNEMENT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 駆動装置及び基板処理システム
Abstract: front page image
(EN)A drive device having two rotating axes (an outside output axis and an inside output axis) on the same axis, wherein a vacuum seal is arranged between a main case and the outside output axis, and, in addition, a vacuum seal is arranged between the outside output axis and the inside output axis, thereby separating the space inside the main case of the drive device and the space outside the main case. As a result, even if the drive device is used in a low-pressure environment, the space inside the main case of the drive device (atmospheric-pressure environment side) and the space on a low-pressure environment side can be separated, thereby enabling the drive device to be used in a low-pressure environment.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif d'entraînement possédant deux axes de rotation (un axe de sortie extérieur et un axe de sortie intérieur) sur le même axe, un joint hermétique étant agencé entre un carter principal et l'axe de sortie extérieur, et, en plus, un joint hermétique étant agencé entre l'axe de sortie extérieur et l'axe de sortie intérieur, ce qui permet de séparer l'espace à l'intérieur du carter principal du dispositif d'entraînement et l'espace à l'extérieur du carter principal. En conséquence, même si le dispositif d'entraînement est utilisé dans un environnement à basse-pression, l'espace à l'intérieur du carter principal du dispositif d'entraînement (côté environnement à pression atmosphérique) et l'espace sur d'un côté environnement à basse-pression peuvent être séparés, ce qui permet au dispositif d'entraînement d'être utilisé dans un environnement à basse-pression.
(JA) 同軸上に2つの回転軸(外側出力軸及び内側出力軸)を有する駆動装置において、本体ケースと外側出力軸との間に真空シールを配置し、更に、外側出力軸と内側出力軸との間に真空シールを配置することで、駆動装置の本体ケース内の空間と、本体ケース外の空間とを分離する。これにより、駆動装置を減圧環境下で用いる場合であっても、駆動装置の本体ケース内の空間(大気圧環境側)と減圧環境側の空間とを分離することができるので、駆動装置の減圧環境下での使用が可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)