WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2013046705) INERTIAL FORCE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/046705    International Application No.:    PCT/JP2012/006219
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.09.2012
IPC:
G01C 19/5769 (2012.01), H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01)
Applicants: PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP)
Inventors: YOSHIUCHI, Shigehiro; .
OHUCHI, Satoshi; .
FUJII, Tsuyoshi; .
YAMAMOTO, Kensaku; .
OHKOSHI, Hideo;
Agent: NAITO, Hiroki; c/o Panasonic Corporation, 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP)
Priority Data:
2011-216344 30.09.2011 JP
Title (EN) INERTIAL FORCE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE FORCE D'INERTIE
(JA) 慣性力センサ
Abstract: front page image
(EN)In order to provide an inertial force sensor that can suppress fluctuation of detection sensitivity even if external stress is applied to the inertial force sensor, an angular velocity sensor (1), i.e., an inertial force sensor, is provided with a ceramic substrate (6), a lower cover (4) adhered on the ceramic substrate (6) with adhesives (11a, 11b) (first adhesives), and a sensor element (2) adhered on the lower cover (4) with adhesives (10a, 10b) (second adhesives). The elastic moduli of the adhesives (11a, 11b) are smaller than the elastic moduli of the adhesives (10a, 10b).
(FR)La présente invention vise à fournir un capteur de force d'inertie qui peut supprimer une fluctuation de sensibilité de détection même si une contrainte extérieure est appliquée au capteur de force d'inertie. A cet effet, un capteur de vitesse angulaire (1), à savoir, un capteur de force d'inertie, comporte un substrat céramique (6), une couverture inférieure (4) collée sur le substrat céramique (6) avec des adhésifs (11a, 11b) (premiers adhésifs) et un élément capteur (2) collé sur la couverture inférieure (4) avec des adhésifs (10a, 10b) (seconds adhésifs). Les modules élastiques des adhésifs (11a, 11b) sont plus petits que les modules élastiques des adhésifs (10a, 10b).
(JA) 慣性力センサに外部応力が加わった場合でも、検出感度の変動を抑制できる慣性力センサを提供することを目的とする。そのために、慣性力センサである角速度センサ(1)は、セラミック基板(6)と、セラミック基板(6)上に接着剤(11a、11b)(第1の接着剤)により固着された下蓋(4)と、下蓋(4)上に接着剤(10a、10b)(第2の接着剤)により固着されたセンサ素子(2)と、を備える。接着剤(11a、11b)の弾性率が、接着剤(10a、10b)の弾性率よりも小さい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)