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1. (WO2013046534) PHOTOCONDUCTIVE ELEMENT, LENS, TERAHERTZ EMISSION MICROSCOPE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/046534    International Application No.:    PCT/JP2012/005393
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.08.2012
IPC:
G01N 21/63 (2006.01)
Applicants: SONY CORPORATION [JP/JP]; 1-7-1 Konan, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP) (For All Designated States Except US).
KAMATA, Masanao [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAMATA, Masanao; (JP)
Agent: OMORI, Junichi; 2nd Floor U&M Akasaka Bldg., 7-5-47 Akasaka, Minato-ku, Tokyo 1070052 (JP)
Priority Data:
2011-216164 30.09.2011 JP
Title (EN) PHOTOCONDUCTIVE ELEMENT, LENS, TERAHERTZ EMISSION MICROSCOPE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) ÉLÉMENT PHOTOCONDUCTEUR, LENTILLE, MICROSCOPE À ÉMISSION TÉRAHERTZ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF
(JA) 光伝導素子、レンズ、テラヘルツ放射顕微鏡及びデバイスの製造方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a terahertz emission microscope having improved detection accuracy of terahertz microwaves, and to provide a photoconductive element and a lens to be used in the terahertz emission microscope, and a device manufacturing method. [Solution] This photoconductive element is provided with a base material, electrodes, and a film material. The base material has an input surface having inputted thereto terahertz microwaves, which are generated by radiating pulsed-laser beams to a device, i.e., an object to be observed, said pulsed-laser beams having been generated from a light source. The electrodes are formed on the base material, and detect the terahertz microwaves inputted to the input surface of the base material. The film material is formed on the input surface of the base material, passes through the terahertz microwaves, and reflects the pulsed-laser beams.
(FR)La présente invention concerne un microscope à émission térahertz présentant une plus grande précision de détection des microondes térahertz et un élément photoconducteur et une lentille utilisables dans ledit microscope à émission térahertz, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un dispositif. Ledit élément photoconducteur comporte un matériau support, des électrodes et un matériau se présentant sous la forme d'un film. Le matériau support présente une surface d'entrée dans laquelle pénètrent les microondes térahertz, générées en envoyant des faisceaux laser pulsés vers un dispositif, c'est-à-dire un objet à observer, lesdits faisceaux laser pulsés ayant été générés par une source de lumière. Les électrodes sont situées sur le matériau support et détectent les microondes térahertz ayant pénétré dans la surface d'entrée du matériau support. Le matériau se présentant sous la forme d'un film est situé sur la surface d'entrée du matériau support, laisse passer les microondes térahertz et réfléchit les faisceaux lasers pulsés.
(JA)【課題】テラヘルツ電磁波の検出精度を向上させることができるテラヘルツ放射顕微鏡、これに用いられる、光伝導素子、レンズ及びデバイスの製造方法を提供すること。 【解決手段】光伝導素子は、基材と、電極と、膜材とを具備する。前記基材は、光源から発生したパルスレーザーが、観察対象であるデバイスに照射されることにより発生するテラヘルツ電磁波が入射する入射面を有する。前記電極は、前記基材に形成され、前記基材の入射面に入射された前記テラヘルツ電磁波を検出する。前記膜材は、前記基材の前記入射面に形成され、前記テラヘルツ電磁波を透過させ、前記パルスレーザーを反射させる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)