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1. (WO2013045597) IMAGING CATOPTRIC EUV PROJECTION OPTICAL UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/045597    International Application No.:    PCT/EP2012/069158
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.09.2012
IPC:
G02B 17/06 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: RUOFF, Johannes; (DE).
SCHICKETANZ, Thomas; (DE)
Agent: HOFMANN, Matthias; RAU, SCHNECK & HÜBNER Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Priority Data:
10 2011 083 888.0 30.09.2011 DE
61/541,127 30.09.2011 US
Title (EN) IMAGING CATOPTRIC EUV PROJECTION OPTICAL UNIT
(FR) UNITÉ OPTIQUE CATOPTRIQUE D'IMAGERIE À PROJECTION EUV
Abstract: front page image
(EN)An imaging catoptric optical unit (7) has at least four mirrors (Ml to M4), which image an object field (4) in an object plane (5) into an image field (8) in an image plane (9). A first chief ray plane (yz) of the optical unit is prescribed by propagation of a chief ray (16) of a central object field point during the reflection at one of the mirrors (Ml). A second chief ray plane (xz) of the optical unit is prescribed by propagation of the chief ray (16) of the central object field point during the reflection at one of the other mirrors (M3, M4). The two chief ray planes (yz, xz) include an angle that differs from 0. In an alternative or additional aspect, the imaging optical unit (7), considered via the image field (8), has a maximum diattenuation (D) of 10% or a diattenuation that prefers a tangential polarization of the imaging light for a respectively considered illumination angle. The result of both aspects is an imaging optical unit in which bothersome polarization influences are reduced during the reflection of imaging light at the mirrors of the imaging optical unit.
(FR)L'invention concerne une unité optique catoptrique d'imagerie (7) comprenant au moins quatre miroirs (Ml à M4) qui imagent un champ d'objet (4) dans un plan d'objet (5) de champ d'image (8) d'un plan d'image (9). Un premier plan de rayons principaux (yz) de l'unité optique est défini par propagation d'un rayon principal (16) d'un point de champ d'objet central pendant la réflexion sur l'un des miroirs (Ml). Un second plan de rayons principaux (xz) de l'unité optique est défini par propagation du rayon principal (16) du point de champ d'objet central pendant la réflexion sur l'un des autres miroirs (M3, M4). Les deux plans de rayons principaux (yz, xz) présentent un angle non nul. Dans un autre mode de réalisation ou selon un aspect supplémentaire, l'unité optique d'imagerie (7), considérée via le champ d'image (8) présente une désatténuation maximum (D) de 10% ou une désatténuation qui privilégie une polarisation tangentielle de la lumière d'imagerie pour un angle d'éclairage considéré respectif. Le résultat des deux aspects est une unité optique d'imagerie dans laquelle les influences de polarisation gênantes sont réduites pendant la réflexion de la lumière d'imagerie sur les miroirs de l'unité optique d'imagerie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)