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1. (WO2013045110) TRANSPORTING APPARATUS FOR TRANSPORTING A VARIETY OF SUBSTRATES INTO THE REGION OF A SUBSTRATE-TREATMENT APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/045110    International Application No.:    PCT/EP2012/004092
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 28.09.2012
IPC:
C23C 14/56 (2006.01)
Applicants: MANZ AG [DE/DE]; Steigäckerstraße 5 72768 Reutlingen (DE)
Inventors: RETTENBACHER, Peter; (DE).
MERZ, Thomas; (DE).
KASTL, Stefan; (DE)
Agent: WEILNAU, Carsten; Unter den Eichen 7 65195 Wiesbaden (DE)
Priority Data:
10 2011 114 593.5 30.09.2011 DE
Title (DE) TRANSPORTEINRICHTUNG ZUM TRANSPORTIEREN MEHRERER SUBSTRATE IN DEN BEREICH EINER SUBSTRAT-BEHANDLUNGSEINRICHTUNG
(EN) TRANSPORTING APPARATUS FOR TRANSPORTING A VARIETY OF SUBSTRATES INTO THE REGION OF A SUBSTRATE-TREATMENT APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DESTINÉ À TRANSPORTER PLUSIEURS SUBSTRATS DANS LA ZONE D'UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung zum gleichzeitigen Transportieren von zumindest zwei in einer Vakuumbehandlungseinrichtung (11) zu behandelnden Substraten (28), mit zumindest zwei bezüglich einer gemeinsamen Achse (1) drehbar gelagerten und axial versetzt zueinander angeordneten Trägereinrichtungen (12, 14), an welchen zumindest jeweils ein zur Aufnahme zumindest eines Substrates (28) ausgebildeter Halterahmen (20, 22, 24, 26) angeordnet ist, wobei die Halterahmen (20, 22, 24, 26) durch eine Drehbewegung der Trägereinrichtungen (12, 14) um die Achse (1) in zueinander gegenüberliegende Wirkungsbereiche einer Behandlungseinheit (50) bringbar sind und wobei die Trägereinrichtungen (12, 14) einen solchen axialen Abstand zueinander aufweisen, dass die Behandlungseinheit (50) zwischen ihnen anordenbar ist.
(EN)The present invention relates to a transporting apparatus for simultaneously transporting at least two substrates (28) which are to be treated in a vacuum-treatment apparatus (11), having at least two carrier apparatuses (12, 14) which are mounted for rotation in relation to a common axis (1), are offset axially in relation to one another and on which is arranged at least in each case one retaining frame (20, 22, 24, 26) designed for accommodating at least one substrate (28), wherein the retaining frame (20, 22, 24, 26) can be shifted, by a rotary movement of the carrier apparatuses (12, 14) about the axis (1), into mutually opposite regions of action of a treatment unit (50), and wherein the carrier apparatuses (12, 14) are spaced apart axially from one another to such an extent that the treatment unit (50) can be arranged between them.
(FR)L'invention concerne un dispositif de transport destiné au transport simultané d'au moins deux substrats (28) à traiter dans un dispositif de traitement sous vide (11), comprenant au moins deux dispositifs de support (12, 14) montés de manière rotative par rapport à un axe commun (1) et axialement décalés l'un de l'autre, sur lesquels est disposé au moins respectivement un cadre de retenue (20, 22, 24, 26) destiné à loger au moins un substrat (28), les cadres de retenue (20, 22, 24, 26) pouvant être amenés dans des zones d'action opposées les unes aux autres d'une unité de traitement (50) par un déplacement rotatif des dispositifs de support (12, 14) autour de l'axe (1) et les dispositifs de support (12, 14) présentant l'un par rapport à l'autre un espacement axial tel que l'unité de traitement (50) puisse être disposée entre eux.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)