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1. WO2013045026 - DEVICE FOR TRANSFERRING HEAT OR MASS, COMPRISING HEXAGONAL JET NOZZLES, AND METHOD FOR TREATING SURFACE LAYERS

Publication Number WO/2013/045026
Publication Date 04.04.2013
International Application No. PCT/EP2012/003751
International Filing Date 07.09.2012
IPC
F26B 21/00 2006.1
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
26DRYING
BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
21Arrangements for supplying or controlling air or gases for drying solid materials or objects
CPC
F26B 21/004
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
26DRYING
BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
21Arrangements ; or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes,; for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
004Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
Applicants
  • KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • CAVADINI, Philipp [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHABEL, Wilhelm [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHARFER, Philip [DE]/[DE] (UsOnly)
  • WENGELER, Lukas [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • CAVADINI, Philipp
  • SCHABEL, Wilhelm
  • SCHARFER, Philip
  • WENGELER, Lukas
Common Representative
  • KARLSRUHER INSTITUT FÜR TECHNOLOGIE
Priority Data
10 2011 115 257.529.09.2011DE
Publication Language German (de)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) VORRICHTUNG FÜR DEN WÄRME- ODER STOFFÜBERGANG MIT HEXAGONALEN PRALLSTRAHLDÜSEN UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON OBERFLÄCHENSCHICHTEN
(EN) DEVICE FOR TRANSFERRING HEAT OR MASS, COMPRISING HEXAGONAL JET NOZZLES, AND METHOD FOR TREATING SURFACE LAYERS
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE CHALEUR OU DE SUBSTANCE AU MOYEN DE BUSES À JET INCIDENT HEXAGONALES ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE COUCHES SUPERFICIELLES
Abstract
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung für den Wärme- und Stoffübergang, insbesondere zum Trocknen von dünnen Schichten oder Beschichtungen. Im Vordergrund steht hierbei ein Prallstrahlfeld (3) mit hexagonalen Prallstrahldüsen (5) und der darum angeordneten Effusionsöffnungen (4). Durch diese Geometrie der Ausstrahl- und Ansaugdüsen ergibt sich ein besonders günstiger Wärme-/Stoffübergangskoeffizient bei ausgezeichneter Homogenität. Daher ist diese Vorrichtung vorteilhaft für die Trocknung sensibler Bauteile. Weiterhin ist die Vorrichtung gut geeignet für Abscheideprozesse auf Oberflächen. Darüber hinaus wird eine Trocknungshaube unter Verwendung besagter Vorrichtung vorgeschlagen. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Behandlung von Oberflächenschichten, insbesondere der schonenden Trocknung organischer (opto-) elektronischer Bauteile.
(EN) The invention relates to a device for transferring heat and mass, in particular for drying thin layers or coatings. The main focus of the invention is a jet array (3) with hexagonal jet nozzles (5) and the effusion openings (4) arranged around said nozzles. A particularly advantageous heat/mass transfer coefficient with excellent homogeneity is produced by the geometry of the spray and intake nozzles. Said device is therefore advantageous for drying sensitive components. The invention is additionally well-suited for deposition processes on surfaces. A drying hood that uses said device is also proposed. The invention further relates to a method for treating surface layers, in particular for gently drying organic (opto-)electronic components.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de transfert de chaleur et de substance, en particulier pour sécher des couches ou revêtements minces. L'invention comprend essentiellement un champ de jet incident (3) avec des buses à jet incident hexagonales (5) et des orifices d'effusion (4) disposés autour. Cette géométrie des buses d'éjection et d'aspiration permet d'obtenir un coefficient de transfert de chaleur / de substance particulièrement favorable et d'une excellente homogénéité. Ce dispositif est donc avantageux pour le séchage de composants sensibles. Le dispositif est en outre bien adapté aux processus de dépôt sur des surfaces. Il est également proposé une hotte de séchage pour l'utilisation dudit dispositif. L'invention concerne en outre un procédé de traitement de couches superficielles, en particulier de séchage avec ménagement de composants (opto)électroniques organiques.
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