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1. (WO2013044761) CLEAN ROOM GASFLOW DISTRIBUTION TEST METHOD AND SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/044761    International Application No.:    PCT/CN2012/081773
Publication Date: 04.04.2013 International Filing Date: 21.09.2012
IPC:
G01P 5/10 (2006.01), G01P 13/02 (2006.01), G01J 5/00 (2006.01)
Applicants: BEIJING BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; No.8 Xihuanzhonglu, BDA Beijing 100176 (CN)
Inventors: LI, Li; (CN).
JIN, Wanshi; (CN)
Agent: LIU, SHEN & ASSOCIATES; A0601, Huibin Building, No.8 Beichen Dong Street Chaoyang District Beijing 100101 (CN)
Priority Data:
201110289975.7 26.09.2011 CN
Title (EN) CLEAN ROOM GASFLOW DISTRIBUTION TEST METHOD AND SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE TEST DE LA DISTRIBUTION D'UN ÉCOULEMENT GAZEUX DANS UNE SALLE BLANCHE
(ZH) 洁净间用气流组织测试方法及系统
Abstract: front page image
(EN)A clean room gasflow distribution test method, device and system, designed to overcome the defects such as low accuracy of existing visual test methods. The clean room gasflow distribution test method utilizes a thermal imaging device to detect a sample gasflow formed by the sample gas in the clean room, the sample gas being liquid nitrogen, dry ice, water vapor or other gases having temperature differences with ambient gas. The clean room gasflow distribution test device and system comprise a sample gas generator and a thermal imaging device; the thermal imaging device can continuously detect and display the spatial position of the sample gas on a display. The clean room gasflow distribution test method provides a more accurate test result, and protects a clean room from being contaminated; the detection device is of mature technology and high test accuracy. The clean room gasflow distribution test device and system utilize the sample gas generator and a temperature detection device, thus improving detection accuracy and extending detection scope.
(FR)La présente invention concerne un procédé, un dispositif et un système de test de la distribution d'un écoulement gazeux dans une salle blanche, permettant d'obtenir une meilleure précision qu'avec les procédés de test visuel actuels. Le procédé de test de la distribution d'un écoulement gazeux dans une salle blanche fait appel à un dispositif d'imagerie thermique pour détecter un écoulement gazeux échantillon formé par l'échantillon gazeux dans la salle blanche, l'échantillon gazeux étant de l'azote liquide, de la glace carbonique, de la vapeur d'eau ou un autre gaz présentant une différence de température avec le gaz ambiant. Le dispositif et le système de test de la distribution d'un écoulement gazeux dans une salle blanche comprennent un générateur d'échantillon gazeux et un dispositif d'imagerie thermique, le dispositif d'imagerie thermique pouvant détecter et afficher en continu la position spatiale de l'échantillon gazeux sur un écran. Le procédé de l'invention permet d'obtenir des résultats de test plus précis et de protéger une salle blanche contre une contamination. Le dispositif de détection est très précis et technologiquement mature. Le dispositif et le système de l'invention utilisent un générateur d'échantillon gazeux et un dispositif de détection de température, ce qui permet d'améliorer la précision de la détection et d'étendre le champ de détection.
(ZH)一种洁净间用气流组织测试方法及装置系统,为解决现有可视化测试方法精度差等缺陷而设计。洁净间用气流组织测试方法用热成像设备探测样品气体在洁净间形成样品气流,所述样品气体为与环境气体存在温差的液氮、干冰或水蒸汽等气体。洁净间用气流组织测试装置系统包括样品气体发生器和热成像设备,热成像设备能连续探测样品气体的空间位置并显示在显示器上。洁净间用气流组织测试方法测试结果更加准确,避免给洁净间带入污染;探测设备技术成熟,测试精度高。洁净间用气流组织测试装置系统是用样品气体发生器和温度探测装置,提高了探测精度,扩大了探测范围。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)