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1. WO2013016551 - COLD CATHODE GAUGE FAST RESPONSE SIGNAL CIRCUIT

Publication Number WO/2013/016551
Publication Date 31.01.2013
International Application No. PCT/US2012/048362
International Filing Date 26.07.2012
IPC
G01L 21/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
CPC
G01L 21/34
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
30by making use of ionisation effects
34using electric discharge tubes with cold cathodes
Applicants
  • MKS INSTRUMENTS, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • DOWNING, Bert [US]/[US] (UsOnly)
  • GU, Donghua [CN]/[US] (UsOnly)
  • PEACOCK, Neil T. [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • DOWNING, Bert
  • GU, Donghua
  • PEACOCK, Neil T.
Agents
  • YOUNG, James R.
Priority Data
61/511,93126.07.2011US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) COLD CATHODE GAUGE FAST RESPONSE SIGNAL CIRCUIT
(FR) CIRCUIT DE SIGNAL DE RÉPONSE RAPIDE DE JAUGE À CATHODE FROIDE
Abstract
(EN)
A fast response output signal circuit (10) for a cold cathode gauge is provided to produce a fast response output signal (48) in addition to a voltage output signal (40) that is representative of the pressure in the cold cathode gauge. The fast response output signal (48) is either on or off, thus can be used to trigger a closing of an isolation valve or other responsive action upon a change in pressure that attains or exceeds a certain set point threshold. The fast response output signal is produced and processed with analog circuits, but the set point is produced with a microprocessor. The voltage output signal can be produced as a logarithmic function of the pressure.
(FR)
L'invention porte sur un circuit de signal de sortie de réponse rapide (10), pour une jauge à cathode froide, qui permet de générer un signal de sortie de réponse rapide (48) en plus d'un signal de sortie de tension (40) qui est représentatif de la pression dans la jauge à cathode froide. Le signal de sortie de réponse rapide (48) est soit en circuit, soit hors circuit, et peut donc être utilisé pour déclencher la fermeture d'une vanne d'isolement ou une autre action réactive lors d'une variation de pression qui atteint ou dépasse un certain seuil de consigne. Le signal de sortie de réponse rapide est généré et traité au moyen de circuits analogiques, mais le point de consigne est généré au moyen d'un microprocesseur. Le signal de sortie de tension peut être généré sous la forme d'une fonction logarithmique de la pression.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau