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1. WO2013015311 - ELECTROMAGNETIC LENS AND CHARGED PARTICLE DEVICE

Publication Number WO/2013/015311
Publication Date 31.01.2013
International Application No. PCT/JP2012/068818
International Filing Date 25.07.2012
IPC
H01J 37/141 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
14magnetic
141Electromagnetic lenses
CPC
H01J 37/141
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
14magnetic
141Electromagnetic lenses
Applicants
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 大西 崇 ONISHI Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • 大西 崇 ONISHI Takashi
Agents
  • 磯野 道造 ISONO Michizo
Priority Data
2011-16348526.07.2011JP
Publication Language Japanese (JA)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ELECTROMAGNETIC LENS AND CHARGED PARTICLE DEVICE
(FR) LENTILLE ÉLECTROMAGNÉTIQUE ET DISPOSITIF À PARTICULES CHARGÉES
(JA) 電磁レンズおよび荷電粒子装置
Abstract
(EN)
The present invention addresses the problem of improving the stability of a magnetic field generated by a magnetic lens. This magnetic lens (1) is characterized in having a coil (12, 13a, 13b) in which a wire is wound on the periphery of a path (5) of an electron beam, a ferromagnetic body (11) forming a magnetic path, an electrical-current-supply device (2, 3) for delivering an electric current to the coil (12, 13a, 13b), and a controller (4). The controller (4) performs a control so that electric currents of the same amount, flowing in mutually opposite directions, are delivered to the coils (13a, 13b), and the amount of electric current I2 flowing to the coils (13a, 13b) is such that I2={(P-I12R1)/R2}1/2, where P is the total amount of heat generated in the coils (12, 13a, 13b), I1 is the amount of electric current flowing to the coil (12), R1 is a resistance, I2 is the amount of electric current flowing to the coils (13a, 13b), and R2 is a combined resistance.
(FR)
La présente invention concerne le problème consistant à améliorer la stabilité d'un champ magnétique produit par une lentille magnétique. La lentille magnétique (1) est caractérisée en ce qu'elle comprend une bobine (12, 13a, 13b) dans laquelle un fil est enroulé sur la périphérique d'un trajet (5) d'un faisceau électronique, un corps ferromagnétique (11) formant un trajet magnétique, un dispositif de fourniture de courant électrique (2, 3) destiné à fournir un courant électrique à la bobine (12, 13a, 13b) et un système de commande (4). Le système de commande (4) veille à ce que des courants électriques d'une même valeur, circulant dans des directions mutuellement opposées, soient fournis aux bobines (13a, 13b) et à ce que le courant électrique I2 circulant vers les bobines (13a, 13b) soit tel que I2 = {(P-I12R1)/R2}1/2, où P est la quantité totale de chaleur produite dans les bobines (12, 13a, 13b), I1 est la quantité de courant électrique arrivant à la bobine (12), R1 est une résistance, I2 est la quantité de courant électrique arrivant aux bobines (13a, 13b) et R2 est une résistance combinée.
(JA)
 電磁レンズが発生する磁場の安定性を向上させることを課題とする。 本発明の電磁レンズ(1)は、電子線の経路(5)の周囲に巻線が巻回されているコイル(12)、コイル(13a)およびコイル(13b)と、磁路を形成する強磁性体(11)と、各々のコイル(12,13a,13b)に電流を流す電流源装置(2,3)と、コイル(13a)およびコイル(13b)に、互いに逆向き、かつ、同じ電流量の電流を流し、コイル(12,13a,13b)における合計発熱量をPとし、コイル(12)に流れる電流量をIとし、抵抗値をRとし、コイル(13a,13b)に流れる電流量をIとし、合成抵抗値をRとしたとき、コイル(13a,13b)に流れる電流量Iを、I={(P-I)/R1/2に従った量となるよう制御する制御装置(4)と、を有することを特徴とする。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau