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1. WO2013006261 - SYSTEMS AND METHODS FOR HARMONIC REDUCTION IN CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS BY GAP FEEDBACK LINEARIZATION

Publication Number WO/2013/006261
Publication Date 10.01.2013
International Application No. PCT/US2012/043029
International Filing Date 18.06.2012
IPC
A61B 8/00 2006.01
AHUMAN NECESSITIES
61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
8Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
CPC
B06B 1/0292
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, ; e.g.; FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
1Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
02making use of electrical energy
0292Electrostatic transducers, e.g. electret-type
Applicants
  • GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION [US]/[US] (AllExceptUS)
  • DEGERTEKIN, F. Levent [TR]/[US] (UsOnly)
  • SATIR, Sarp [TR]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • DEGERTEKIN, F. Levent
  • SATIR, Sarp
Agents
  • ROBERT, R., Elliott, Jr.
Priority Data
61/498,17717.06.2011US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR HARMONIC REDUCTION IN CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS BY GAP FEEDBACK LINEARIZATION
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RÉDUCTION D'HARMONIQUES DANS DES TRANSDUCTEURS À ULTRASONS MICRO-USINÉS CAPACITIFS PAR LINÉARISATION DE RÉTROACTION D'ÉCARTEMENT
Abstract
(EN)
Systems and methods for providing increased CMUT imaging performance are disclosed. The system can comprise CMUT electronics with integrated or derived gap feedback. In this manner, the response of the CMUT membrane can be linearized to improve pressure output and/or harmonic distortion. The system can comprise a CMUT with series resistance to improve linearity. The system can also comprise a CMUT with series induction-resistance for improved linearity at reduced voltages. A method for linearizing CMUT response is also disclosed. The method can comprise providing a signal to the CMUT that is inversely proportional the gap between the CMUT membrane and the substrate on which the CMUT is fabricated.
(FR)
L'invention concerne des systèmes et des procédés fournissant des résultats d'imagerie à transducteurs à ultrasons micro-usinés capacitifs (CMUT) améliorés. Le système selon l'invention peut comprendre une électronique CMUT à rétroaction d'écartement intégrée ou dérivée. Ainsi, la réaction de la membrane CMUT peut être linéarisée pour améliorer la sortie de pression et/ou la distorsion harmonique. Le système peut comprendre un transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif doté d'une résistance série pour améliorer la linéarité. Ce système peut également comprendre un transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif doté d'une résistance à induction série pour améliorer la linéarité à des tensions réduites. L'invention concerne également un procédé de linéarisation de réaction de CMUT. Ce procédé peut consister à fournir un signal au transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif qui est inversement proportionnel à l'écartement entre la membrane de CMUT et le substrat sur lequel est fabriqué le CMUT.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau