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1. (WO2012176106) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF LIGHT EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES USING PHOTOLUMINESCENCE IMAGING
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Pub. No.: WO/2012/176106 International Application No.: PCT/IB2012/053052
Publication Date: 27.12.2012 International Filing Date: 18.06.2012
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 33/00 (2010.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33
Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
Applicants:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 1 Technology Drive Milpitas, CA 95035, US (AllExceptUS)
BOEYKENS, Steven [BE/BE]; BE (UsOnly)
MARIVOET, Tom [BE/BE]; BE (UsOnly)
Inventors:
BOEYKENS, Steven; BE
MARIVOET, Tom; BE
Agent:
REICHERT, Werner; Bismarckplatz 8 93047 Regensburg, DE
Priority Data:
61/500,98724.06.2011US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION OF LIGHT EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES USING PHOTOLUMINESCENCE IMAGING
(FR) MÉTHODE ET APPAREIL D'INSPECTION DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS ÉLECTROLUMINESCENTS PAR L'IMAGERIE DE PHOTOLUMINESCENCE
Abstract:
(EN) A method and apparatus for the inspection of light emitting semiconductor devices. The semiconductor device is illuminated with a light source, wherein at least an area of the light emitting semiconductor is illuminated with a waveband of light. The waveband of light λA + λB can generate electron-hole pairs in the light emitting semiconductor to be inspected. Through an objective lens at least a part of the light λC emitted by the light emitting semiconductor is detected. The emitted light is captured with a sensor of a camera that is sensitive to wavelengths of the emitted light, wherein the wavelength of the emitted light is above the width of the waveband. The data of the emitted light, captured with the sensor, are transmitted to a computer system for calculating inspection results of the light emitting semiconductor.
(FR) L'invention concerne un procédé et un appareil d'inspection de dispositifs semi-conducteurs électroluminescents. Le dispositif semi-conducteur est illuminé avec une source de lumière, au moins une zone du semiconducteur électroluminescent étant illuminée avec une bande d'onde de lumière. La bande d'onde de lumière λA + λB peut générer des paires électron-trou dans le semi-conducteur électroluminescent à inspecter. Au moins une partie de la lumière λC émise par le semi-conducteur électroluminescent est détectée à travers un objectif . La lumière émise est capturée par un capteur de caméra qui est sensible aux longueurs d'onde de la lumière émise, la longueur d'onde de la lumière émise étant supérieure à la largeur de la bande d'onde. Les données de la lumière émise, capturées avec le capteur, sont transmises à un système informatique pour le calcul des résultats de l'inspection du semi-conducteur électroluminescent.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
US20130027543CN103765567JP2014520272KR1020140044376SG10201607916XMYPI 2013004639