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1. (WO2012175116) FACET MIRROR DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2012/175116 International Application No.: PCT/EP2011/060358
Publication Date: 27.12.2012 International Filing Date: 21.06.2011
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 7/182 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7
Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
18
for prisms; for mirrors
182
for mirrors
Applicants:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
VOGT, Martin [DE/DE]; DE (UsOnly)
HARTJES, Joachim [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
VOGT, Martin; DE
HARTJES, Joachim; DE
Agent:
OSSMANN, Jens; Carl Zeiss AG - Patentabteilung (Zusammenschluss 302) Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE
Priority Data:
Title (EN) FACET MIRROR DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MIROIR À FACETTES
Abstract:
(EN) There is provided a facet mirror device comprising a facet element, a support device and a clamping device. The facet element comprises a first support section, while the support device comprises a second support section contacting the first support section to support the facet element. The clamping device comprises a tensioning element, a first end of the tensioning element being connected to the facet element a second end of the tensioning element being connected to a counter unit. The counter unit comprises a third support section, the support device comprising a fourth support section contacting the third support section to support the counter unit. The tensioning element, in a clamping state, is under tensile stress such that the first support section and the second support section are pressed against each other and the third support section and the fourth support section are pressed against each other in a clamping direction to clamp the facet element via a clamping force in a given position and orientation. The first support section and the second support section define at least a first axis of rotation of a relative motion between the first support section and the second support section, the first axis of rotation extending in a first plane transverse to the clamping direction. The third support section and the fourth support section define a second axis of rotation of a relative motion between the third support section and the fourth support section, the second axis of rotation extending in a second plane transverse to the clamping direction. The first axis of rotation and the second axis of rotation are located at least close to each other.
(FR) La présente invention se rapporte à un dispositif de miroir à facettes qui comprend un élément de facette, un dispositif de support et un dispositif de serrage. L'élément de facette comprend une première section de support tandis que le dispositif de support comprend une deuxième section de support qui vient en contact avec la première section de support afin de supporter l'élément de facette. Le dispositif de serrage comprend un élément de mise sous tension, une première extrémité de l'élément de mise sous tension étant raccordée à l'élément de facette et une seconde extrémité de l'élément de mise sous tension étant raccordée à une unité de comptage. L'unité de comptage comprend une troisième section de support, le dispositif de support comprenant une quatrième section de support qui vient en contact avec la troisième section de support afin de supporter l'unité de comptage. L'élément de mise sous tension est, dans un état de serrage, exposé à une contrainte de traction de telle sorte que la première section de support et la deuxième section de support soient pressées l'une contre l'autre et que la troisième section de support et la quatrième section de support soient pressées l'une contre l'autre dans une direction de serrage afin de serrer l'élément de facette par l'intermédiaire d'une force de serrage dans une position et une orientation données. La première section de support et la deuxième section de support définissent au moins un premier axe de rotation d'un mouvement relatif entre la première section de support et la deuxième section de support, le premier axe de rotation s'étendant dans un premier plan transversal à la direction de serrage. La troisième section de support et la quatrième section de support définissent un second axe de rotation d'un mouvement relatif entre la troisième section de support et la quatrième section de support, le second axe de rotation s'étendant dans un second plan transversal à la direction de serrage. Le premier axe de rotation et le second axe de rotation sont situés au moins l'un près de l'autre.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
JP2014525137