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1. (WO2012127901) CHARGED PARTICLE RAY APPARATUS AND PATTERN MEASUREMENT METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/127901    International Application No.:    PCT/JP2012/051812
Publication Date: 27.09.2012 International Filing Date: 27.01.2012
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
KASAI Yuji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SUZUKI Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MAKINO Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KASAI Yuji; (JP).
SUZUKI Makoto; (JP).
MAKINO Hiroshi; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
Priority Data:
2011-066724 24.03.2011 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE RAY APPARATUS AND PATTERN MEASUREMENT METHOD
(FR) APPAREIL À RAYONS INDUITS PAR PARTICULES CHARGÉES, ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MOTIF
(JA) 荷電粒子線装置及びパターン測定方法
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to automate the function of synthesising signal charged particles having different energies. For this purpose, a charged particle ray apparatus is provided with: a charged particle source that directs a primary charged particle ray onto a sample; a first detector that detects first signal electrons having a first energy, from among the signal charged particles generated from the sample; a second detector that detects second signal electrons having a second energy, from among the signal charged particles generated from the sample; a first computation section that varies the synthesis ratio of the signal intensity of the first signal electrons and the signal intensity of the second signal electrons, and generates a detection image corresponding to each synthesis ratio; a second computation section that calculates the ratio of the signal intensities corresponding to two prescribed areas of the detection image generated with respect of each synthesis ratio; and a third computation section that determines the mixing ratio employed for acquisition of the detection image, based on the change in the ratio of the signal intensities.
(FR)L'objectif de la présente invention est d'automatiser la fonction de synthèse de particules chargées de signal présentant différentes énergies. Dans ce but, un appareil à rayons induits par particules chargées comprend : une source de particules chargées, qui dirige un rayon induit par particules chargées primaires sur un échantillon ; un premier détecteur, qui détecte des premiers électrons de signal dotés d'une première énergie, parmi les particules chargées de signal générées depuis l'échantillon ; un second détecteur, qui détecte des seconds électrons de signal dotés d'une seconde énergie, parmi les particules chargées de signal générées depuis l'échantillon ; une première section de calcul, qui fait varier le rapport de synthèse de l'intensité de signal des premiers électrons de signal et de l'intensité de signal des seconds électrons de signal, et qui génère une image de détection correspondant à chaque rapport de synthèse ; une deuxième section de calcul, qui calcule le rapport des intensités de signal correspondant à deux zones prescrites de l'image de détection générée par rapport à chaque rapport de synthèse ; et une troisième section de calcul, qui détermine le rapport de mélange employé pour l'acquisition de l'image de détection, en se basant sur le changement dans le rapport des intensités de signal.
(JA) エネルギーの異なる信号荷電粒子の合成機能を自動化することを目的とする。このため、一次荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子源と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第1のエネルギーを有する第1の信号電子を検出する第1の検出器と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第2のエネルギーを有する第2の信号電子を検出する第2の検出器と、第1の信号電子の信号強度と第2の信号電子の信号強度の合成比を変化させ、各合成比に対応する検出画像を生成する第1の演算部と、各合成比について生成された検出画像の所定の2つのエリアに対応する信号強度の比を算出する第2の演算部と、信号強度の比の変化に基づいて、検出画像の取得に使用する混合比を決定する第3の演算部とを荷電粒子線装置に搭載する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)