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Pub. No.:    WO/2012/124303    International Application No.:    PCT/JP2012/001664
Publication Date: 20.09.2012 International Filing Date: 09.03.2012
G02B 21/00 (2006.01), G01J 3/44 (2006.01), G01N 21/65 (2006.01)
Applicants: Nanophoton Corporation [JP/JP]; 1-3-267, Umeda 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300001 (JP) (For All Designated States Except US).
KAWATA, Satoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOBAYASHI, Minoru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OTA, Taisuke [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAWATA, Satoshi; (JP).
KOBAYASHI, Minoru; (JP).
OTA, Taisuke; (JP)
Agent: IEIRI, Takeshi; HIBIKI IP Law Firm, Asahi Bldg. 10th Floor, 3-33-8, Tsuruya-cho, Kanagawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2210835 (JP)
Priority Data:
2011-054538 11.03.2011 JP
(JA) 光学顕微鏡、及び分光測定方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are an optical microscope and a spectroscopic measurement method which enable high-resolution measurements to be made. A spectrometer in one embodiment of the present invention is provided with: a laser light source (10); an objective lens (21) that concentrates a light beam, and causes the light beam to strike a sample (22); a Y-scanner (13) that scans the spot position of the light beam on the sample (22); a beam splitter (17) that splits the emitted light emitted from the sample (22) to the objective lens (21) side, said emitted light having a different wavelength than the rest of the light beam that struck the sample (22), and the light beam from the light source (10) that strikes the sample; a spectroscope (31) that spatially disperses the emitted light split by the beam splitter (17) according to the wavelength; a detector (32) that detects the emitted light dispersed by the spectroscope (31); and a pinhole array (30) that is positioned on the incident side of the spectroscope (31), and upon which a plurality of pinholes (42), which allows the emitted light to pass through on the spectroscope (31) side, is disposed.
(FR)La présente invention se rapporte à un microscope optique et à un procédé de mesure spectroscopique qui permettent de prendre des mesures à haute résolution. Selon un mode de réalisation de la présente invention, un spectromètre est pourvu : d'une source de lumière laser (10) ; d'une lentille de focalisation (21) qui concentre un faisceau lumineux et amène le faisceau lumineux à heurter un échantillon (22) ; d'un dispositif de balayage en Y (13) qui balaie la position du spot du faisceau lumineux sur l'échantillon (22) ; d'un séparateur de faisceau (17) qui sépare la lumière émise depuis l'échantillon (22) vers le côté lentille de focalisation (21), ladite lumière émise ayant une longueur d'onde différente de celle du reste du faisceau lumineux qui a heurté l'échantillon (22), et le faisceau lumineux provenant de la source de lumière (10) qui heurte l'échantillon ; d'un spectroscope (31) qui disperse spatialement la lumière émise et divisée par le séparateur de faisceau (17) selon la longueur d'onde ; d'un détecteur (32) qui détecte la lumière émise et dispersée par le spectroscope (31) ; et d'un ensemble de trous sténopéiques (30) qui est positionné côté incident du spectroscope (31) et sur lequel est disposée une pluralité de trous sténopéiques (42) qui permettent à la lumière émise de passer à travers le spectroscope (31).
(JA) 高い分解能の測定を行うことができる光学顕微鏡、及び分光測定方法を提供すること。 本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源10と、光ビームを集光して、試料22に入射させる対物レンズ21と、試料22上における光ビームのスポット位置を走査するY走査装置13と、試料22に入射された光ビームのうち、異なる波長となって試料22から対物レンズ21側に出射する出射光と光源10から前記試料に入射する光ビームとを分離するビームスプリッタ17と、ビームスプリッタ17により分離された出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器31と、分光器31で分散された出射光を検出する検出器32と、分光器31の入射側に配置され、出射光を分光器31側に通過させる複数のピンホール42が配列されたピンホールアレイ30を備えるものである。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)