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1. (WO2012123443) DOCKING DEVICE, DOCKING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/123443    International Application No.:    PCT/EP2012/054361
Publication Date: 20.09.2012 International Filing Date: 13.03.2012
IPC:
G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: ESMO AG [DE/DE]; Brückenstrasse 1 83022 Rosenheim (DE) (For All Designated States Except US).
HUBER, Werner [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SUGIANTO, Yusman [SG/SG]; (SG) (For US Only).
SNG, Cheng, Khoon, Clement [SG/SG]; (SG) (For US Only)
Inventors: HUBER, Werner; (DE).
SUGIANTO, Yusman; (SG).
SNG, Cheng, Khoon, Clement; (SG)
Agent: BEETZ & PARTNER; Steinsdorfstraße 10 80538 München (DE)
Priority Data:
10 2011 014 148.0 16.03.2011 DE
Title (DE) DOCKINGVORRICHTUNG, DOCKINGVERFAHREN
(EN) DOCKING DEVICE, DOCKING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'AMARRAGE, PROCÉDÉ D'AMARRAGE
Abstract: front page image
(DE)Eine Dockingvorrichtung (10) zur Verbindung eines Halbleiter-Testkopfs (2) mit einem Halbleiter-Handler (1) hat je eine testkopfseitige und eine handlerseitige Verbindungsvorrichtung (11, 12), eine Handhabungsvorrichtung (31 - 35) zum Handhaben einer Kontaktierungsvorrichtung (23) und eine Koppelvorrichtung (13 - 16) zum Koppeln der Verbindungsvorrichtungen (11, 12). Die Koppelvorrichtung (13 - 16) weist eine erste Verschiebeeinrichtung auf, die das translatorische und geführte Verschieben der testkopfseitigen Verbindungsvorrichtung (12) relativ zur handlerseitigen Verbindungsvorrichtung (11) aufeinander zu und voneinander weg erlaubt.
(EN)A docking device (10) for connecting a semiconductor probe (2) to a semiconductor handler (1) has in each case one probe-side and one handler-side connecting device (11, 12), a handling device (31-35) for handling a contact-making device (23) and a coupling device (13-16) for coupling the connecting devices (11, 12). The coupling device (13-16) has a first shifting device, which allows the translational and guided shifting of the probe-side connecting device (12) relative to the handler-side connecting device (11) towards and away from one another.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'amarrage (10) pour raccorder une tête d'essai (2) pour semi-conducteurs à un gestionnaire (1) de semi-conducteurs, ledit dispositif présentant respectivement un dispositif de connexion (11, 12) situé côté tête d'essai et côté gestionnaire, un dispositif de gestion (31 - 35) pour gérer un dispositif de mise en contact (23) et un dispositif de couplage (13 - 16) pour coupler les dispositifs de connexion (11, 12). Le dispositif de couplage (13 - 16) présente un premier dispositif de déplacement servant à assurer le déplacement translatoire et guidé du dispositif de connexion situé côté tête d'essai, par rapport au dispositif de connexion situé côté gestionnaire, lesdits dispositifs de connexion se déplaçant l'un sur l'autre ou loin l'un de l'autre
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)