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1. (WO2012123217) DEVICE FOR ANALYSING SAMPLES BY MEANS OF X-RAY SPECTROSCOPY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/123217    International Application No.:    PCT/EP2012/052756
Publication Date: 20.09.2012 International Filing Date: 17.02.2012
IPC:
G01N 23/225 (2006.01), G02B 21/36 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
PAPASTATHOPOULOS, Evangelos [GR/DE]; (DE) (For US Only).
WEGENDT, Holger [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STEFAN, Lucian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THOMAS, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PAPASTATHOPOULOS, Evangelos; (DE).
WEGENDT, Holger; (DE).
STEFAN, Lucian; (DE).
THOMAS, Christian; (DE)
Agent: GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.B.R.); Sellierstrasse 1 07745 Jena (DE)
Priority Data:
10 2011 005 731.5 17.03.2011 DE
Title (DE) EINRICHTUNG ZUR PROBENANALYSE MITTELS RÖNTGENSPEKTROSKOPIE
(EN) DEVICE FOR ANALYSING SAMPLES BY MEANS OF X-RAY SPECTROSCOPY
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE D'ÉCHANTILLON PAR SPECTROSCOPIE DE RAYONS X
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Analyse einer Probe (1) durch spektroskopische Auswertung von Röntgenstrahlung (5), die aufgrund der Wechselwirkung eines Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entsteht. Sie ist insbesondere geeignet zur Elementanalyse und Elementqualifizierung bei der Materialmikroskopie. Erfindungsgemäß umfasst eine solche Einrichtung eine mikroskopische Anordnung zur Beobachtung der Probe (1) mit einem Mikroskopobjektiv (2), eine Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der mikroskopischen Anordnung ausgewählten Bereich der Probe (1) ausrichtbar ist, und einen Röntgenstrahlen-Detektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), wobei die Elektronenquelle (3) und der Röntgenstrahlen-Detektor (6) als Baueinheit in Form eines Analysemoduls (7) ausgebildet sind, und Mittel vorgesehen sind zum temporären Positionieren des Analysemoduls (7) in einer Arbeitsposition, in der sich der zu analysierende Probenbereich im Elektronenstrahl (4) und zugleich im Empfangsbereich des Röntgenstrahlen-Detektors (6) befindet.
(EN)The invention relates to a device for analysing a sample (1) by spectroscopically evaluating X-ray radiation (5) produced on account of the interaction between an electron beam (4) and the sample material. Said device is particularly suitable for analysing and qualifying elements during materials microscopy. According to the invention, such a device comprises a microscope arrangement for observing the sample (1) with a microscope objective (2), an electron source (3) which can orient an electron beam (4) with respect to a region of the sample (1) selected using the microscope arrangement, and an X-ray detector (6) designed to detect the X-ray radiation (5) produced by the interaction between the electron beam (4) and the sample material, wherein the electron source (3) and the X-ray detector (6) are designed as a structural unit in the form of an analysis module (7), and means are provided for temporarily positioning the analysis module (7) in an operating position in which the sample region to be analysed is in the electron beam (4) and is simultaneously in the reception range of the X-ray detector (6).
(FR)L'invention concerne un dispositif pour analyser un échantillon (1) par évaluation spectroscopique d'un rayonnement X (5) généré par l'interaction entre un rayon électronique (4) et une matière échantillon. Le dispositif selon l'invention est en particulier conçu pour l'analyse d'éléments et la qualification d'éléments lors de la microscopie de matière. Ce dispositif comprend un système de microscopie pour inspecter l'échantillon (1) avec un objectif microscopique (2), une source d'électrons (3) à partir de laquelle un rayon électronique (4) peut être orienté sur une zone de l'échantillon (1) sélectionnée au moyen du système de microscopie, et un détecteur à rayons X (6) conçu pour détecter le rayonnement X (5) généré par l'interaction entre le rayon électronique (4) et la matière échantillon. La source d'électrons (3) et le détecteur à rayons X (6) se présentent sous la forme d'une unité structurale de type module d'analyse (7). Des moyens sont prévus pour positionner de manière temporaire le module d'analyse (7) dans une position de travail dans laquelle la zone de l'échantillon à analyser se trouve dans le rayon électronique (4) et en même temps dans la zone de réception du détecteur à rayons X (6).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)