WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2012121938) WAFER ALIGNMENT SYSTEM WITH OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2012/121938 International Application No.: PCT/US2012/027052
Publication Date: 13.09.2012 International Filing Date: 29.02.2012
IPC:
H01L 21/68 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,G01B 11/00 (2006.01)
Applicants: XIN, Yongchun[CN/US]; US (UsOnly)
OUYANG, Xu[US/US]; US (UsOnly)
SONG, Yunsheng[CN/US]; US (UsOnly)
TING, Tso-Hui[US/US]; US (UsOnly)
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION[US/US]; New Orchard Place Armonk, NY 10504, US (AllExceptUS)
Inventors: XIN, Yongchun; US
OUYANG, Xu; US
SONG, Yunsheng; US
TING, Tso-Hui; US
Agent: MACKINNON, Lan, D.; International Business Machines Corporation 2070 Route 52 Bldg-321, M/D 482 Hopewell Junction, NY 12533, US
Priority Data:
13/042,49408.03.2011US
Title (EN) WAFER ALIGNMENT SYSTEM WITH OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT DE TRANCHES AVEC TOMOGRAPHIE EN COHÉRENCE OPTIQUE
Abstract:
(EN) A system for performing alignment of two wafers is disclosed. The system comprises an optical coherence tomography system and a wafer alignment system. The wafer alignment system is configured and disposed to control the relative position of a first wafer and a second wafer. The optical coherence tomography system is configured and disposed to compute coordinate data for a plurality of alignment marks on the first wafer and second wafer, and send that coordinate data to the wafer alignment system.
(FR) L'invention concerne un système destiné à réaliser l'alignement de deux tranches. Le système comporte un système de tomographie en cohérence optique et un système d'alignement de tranches. Le système d'alignement de tranches est configuré et disposé de façon à agir sur la position relative d'une première tranche et d'une deuxième tranche. Le système de tomographie en cohérence optique est configuré et disposé de façon à calculer des données de coordonnées pour une pluralité de repères d'alignement sur la première tranche et la deuxième tranche, et à envoyer lesdites données de coordonnées au système d'alignement de tranches.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)