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1. (WO2012121308) MAGNETIC FORCE MICROSCOPE AND HIGH SPATIAL RESOLUTION MAGNETIC FIELD MEASURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/121308    International Application No.:    PCT/JP2012/055882
Publication Date: 13.09.2012 International Filing Date: 07.03.2012
IPC:
G01Q 60/50 (2010.01), G01R 33/12 (2006.01)
Applicants: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 2-12-1, Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 1528550 (JP) (For All Designated States Except US).
MAJIMA, Yutaka [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AZUMA, Yasuo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANAKA, Suguru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MAJIMA, Yutaka; (JP).
AZUMA, Yasuo; (JP).
TANAKA, Suguru; (JP)
Agent: KOIKE, Akira; 32F, St. Luke's Tower, 8-1, Akashi-cho, Chuo-ku, Tokyo 1040044 (JP)
Priority Data:
2011-049670 07.03.2011 JP
2011-270138 09.12.2011 JP
Title (EN) MAGNETIC FORCE MICROSCOPE AND HIGH SPATIAL RESOLUTION MAGNETIC FIELD MEASURING METHOD
(FR) MICROSCOPE À FORCE MAGNÉTIQUE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE CHAMP MAGNÉTIQUE À HAUTE RÉSOLUTION SPATIALE
(JA) 磁気力顕微鏡及び高空間分解能磁場測定方法
Abstract: front page image
(EN)In conventional magnetic force microscopes, it has been difficult to obtain a magnetic field distribution with phase information since the primary resonant frequency of a cantilever fluctuates during probe scanning and the phase of a modulation frequency signal fluctuates. The measurement time has been long since the excitation frequency is as low as approximately 100 Hz. Also it has been difficult to increase the S/N ratio in order to measure an indirect signal called an FM modulation signal. This magnetic force microscope is provided with a cantilever (2) with a probe (1) having a magnetic substance, a first oscillator (4) which is excited at a first resonant frequency, a displacement detection circuit (7), a fine adjustment element (16), a z-axis driving unit (12) which drives the fine adjustment element (16), a second oscillator (13) which is excited at a second resonant frequency, and a lock-in amplifier (21) which inputs a displacement signal and a reference signal. The z-axis driving unit (12) moves the probe (1) toward or away from a magnetic recording head (8) on the basis of the displacement signal and the first resonant frequency, and the lock-in amplifier (21) generates magnetic field data on the basis of the displacement signal and the reference signal.
(FR)Dans les microscopes à force magnétique traditionnels, il est difficile d'obtenir une distribution de champ magnétique avec des informations de phase étant donné que la fréquence résonante primaire d'un cantilever fluctue pendant le balayage de sonde et que la phase du signal de fréquence de modulation fluctue. Le temps de mesure est long car la fréquence d'excitation est basse à environ 100 Hz. Il est aussi difficile d'augmenter le rapport signal/bruit afin de mesurer un signal indirect appelé signal de modulation FM. Ce microscope à force magnétique comprend un cantilever (2) avec une sonde (1) comportant une substance magnétique, un premier oscillateur (4) excité à une première fréquence résonante, un circuit de détection de déplacement (7), un élément d'ajustement fin (16), une unité d'actionnement dans l'axe z (12) qui actionne l'élément d'ajustement fin (16), un second oscillateur (13) excité à une seconde fréquence résonante, et un amplificateur de verrouillage (21) qui entre un signal de déplacement et un signal de référence. L'unité d'actionnement dans l'axe z (12) déplace la sonde (1) vers ou à l'écart de la tête d'enregistrement magnétique (8) en fonction du signal de déplacement et de la première fréquence résonante, et l'amplificateur de verrouillage (21) génère des données de champ magnétique en fonction du signal de déplacement et du signal de référence.
(JA) 従来の磁気力顕微鏡では、カンチレバーの一次共振周波数が探針走査時に変動するため、変調周波数信号の位相が変動し、位相情報付き磁場分布を得ることが困難である。励磁周波数が100Hz程度と低いため、測定時間が長くなってしまう。FM変調信号という間接的な信号を測定するために、S/N比を高くすることが困難である。本発明の磁気力顕微鏡は、磁性体を有する探針(1)付きのカンチレバー(2)と、第1の共振周波数で励振する第1の発振器(4)と、変位検出回路(7)と、微動素子(16)と、微動素子(16)を駆動するz軸駆動部(12)と、第2の共振周波数で励磁する第2の発振器(13)と、変位信号及び参照信号を入力するロックインアンプ(21)とを備えている。そして、z軸駆動部(12)は、変位信号及び第1の共振周波数に基づいて、探針(1)を磁気記録ヘッド(8)に対して接近させ又は離間させ、ロックインアンプ(21)は、変位信号及び参照信号に基づいて、磁場データを生成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)