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1. (WO2012120892) OPTICAL SCANNING DEVICE AND LASER MACHINING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/120892    International Application No.:    PCT/JP2012/001610
Publication Date: 13.09.2012 International Filing Date: 08.03.2012
IPC:
B23K 26/08 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01), B23K 26/04 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01), G02B 26/12 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
Applicants: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP) (For All Designated States Except US).
KUGE, Morimasa; (For US Only).
TANAKA, Hideyuki; (For US Only).
NAKAZAWA, Mutsuhiro; (For US Only).
TAKAHARA, Kazunori; (For US Only).
OOGUSHI, Osami; (For US Only)
Inventors: KUGE, Morimasa; .
TANAKA, Hideyuki; .
NAKAZAWA, Mutsuhiro; .
TAKAHARA, Kazunori; .
OOGUSHI, Osami;
Agent: PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1 Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031 (JP)
Priority Data:
2011-050385 08.03.2011 JP
Title (EN) OPTICAL SCANNING DEVICE AND LASER MACHINING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE ET DISPOSITIF D'USINAGE AU LASER
(JA) 光走査装置及びレーザ加工装置
Abstract: front page image
(EN)An optical scanning device (32) is provided with a lighting means (65) for radiating light while moving at uniform angular speed, and a light-reflecting means (66) for reflecting the light radiated from the lighting means (65) and guiding the light to an arbitrary point to be irradiated on a predetermined scanning line (52). The light-reflecting means (66) has a plurality of reflecting parts (71, 72), and causes the light radiated from the lighting means (56) to be reflected two or more times and to be guided to the arbitrary point to be irradiated. The reflecting parts (71, 72) are configured from a plurality of reflective surfaces (77, 78). The optical path length from the lighting means (65) to the point to be irradiated is substantially constant across all the points to be irradiated on the scanning line (52), and the speed at which the light radiated from the lighting means (65) scans the scanning line (52) is substantially constant as well.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de balayage optique (32) comprenant un moyen d'éclairage (65) servant à rayonner de la lumière en même temps qu'il se déplace à une vitesse angulaire uniforme, et un moyen (66) de réflexion de la lumière servant à réfléchir la lumière rayonnée par le moyen d'éclairage (65) et qui guide la lumière vers un point arbitraire qu'il s'agit d'irradier sur une ligne de balayage prédéterminée (52). Le moyen (66) de réflexion de la lumière présente une pluralité de parties réfléchissantes (71, 72) et a pour effet que la lumière rayonnée par le moyen d'éclairage (56) est réfléchie deux ou plus de deux fois et est guidée vers le point arbitraire qu'il s'agit d'irradier. Les parties réfléchissantes (71, 72) sont formées d'une pluralité de surfaces réfléchissantes (77, 78). La longueur du chemin optique allant du moyen d'éclairage (65) au point à irradier est sensiblement constante pour tous les points à irradier situés sur la ligne de balayage (52), et la vitesse à laquelle la lumière rayonnée par le moyen d'éclairage (65) balaie la ligne de balayage (52) est elle aussi sensiblement constante.
(JA) 光走査装置(32)が、光を等速で角移動させながら放射する投光手段(65)と、投光手段(65)から放射された光を反射して所定の走査線(52)上の任意の被照射点に導くための光反射手段(66)と、を備える。光反射手段(66)は、複数の反射部(71,72)を有して投光手段(56)から放射された光を2度以上反射して任意の被照射点に導く。各反射部(71,72)が複数の反射面(77,78)から構成される。投光手段(65)から被照射点までの光路長が、走査線(52)上の全ての被照射点にわたって略一定であり、且つ、投光手段(65)から放射された光の走査線(52)の走査速度が略一定である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)