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1. (WO2012120728) ELECTRON MICROSCOPE SAMPLE HOLDER AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/120728    International Application No.:    PCT/JP2011/075334
Publication Date: 13.09.2012 International Filing Date: 02.11.2011
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (For All Designated States Except US).
HOSOYA Kotaro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OHNO Masaomi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HATANO Haruhiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HOSOYA Kotaro; (JP).
OHNO Masaomi; (JP).
HATANO Haruhiko; (JP)
Agent: ISONO Michizo; c/o Isono International Patent Office, Sabo Kaikan Annex, 7-4, Hirakawa-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020093 (JP)
Priority Data:
2011-047069 04.03.2011 JP
Title (EN) ELECTRON MICROSCOPE SAMPLE HOLDER AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
(FR) SUPPORT D'ÉCHANTILLON POUR MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
(JA) 電子顕微鏡用試料ホルダーおよび試料観察方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention makes it possible, even when using an ordinary electron beam device (not an environment-controlled electron beam device), to implement localized vacuum-quality reduction near a sample and cooling of said sample by means of a sample holder alone, without modifying the device or adding equipment such as a gas cylinder. The sample to be observed is placed in a sample holder provided with: a container that can contain a substance to serve as a gas source; and a through-hole in the bottom of a sample mount on said container. Via the through-hole, gas evaporating or volatilizing from the container is supplied to the sample under observation, thereby forming a localized low-vacuum state at or near the sample. Also, the heat of vaporization required for volatilization can be used to cool the sample.
(FR)La présente invention permet, même en utilisant un dispositif à faisceau d'électrons ordinaire (pas un dispositif à faisceau d'électrons en environnement contrôlé), de mettre en œuvre une réduction de qualité du vide localisée près d'un échantillon et un refroidissement dudit échantillon au seul moyen d'un support d'échantillon, sans modifier le dispositif ou ajouter de l'équipement, par exemple un cylindre à gaz. L'échantillon à observer est placé dans un support d'échantillon comportant : un récipient qui peut contenir une substance servant de source de gaz ; et un trou traversant au fond d'un logement d'échantillon sur ledit récipient. Via le trou traversant, du gaz s'évaporant ou se volatilisant depuis le récipient est amené à l'échantillon en observation, formant ainsi un état de faible vide localisé sur ou près de l'échantillon. De plus, la chaleur de vaporisation requise pour la volatilisation peut être utilisée pour refroidir l'échantillon.
(JA) 試料近傍の局所低真空化と試料冷却を環境制御型電子線装置ではない通常の電子線装置でも実現し、かつ装置に改造およびボンベ等の設備を追加することなく、試料ホルダーのみで実現する。ガス源となる物質を内部に収納可能な容器と当該容器の試料台下部に貫通孔を備えた試料ホルダーに被観察試料を載置し、上記貫通孔を介して前記容器から蒸発あるいは揮発してくるガスを上記被観察試料に供給することにより、上記被観察試料の載置位置あるいは試料の近傍に局所的な低真空状態を形成する。さらに揮発するときの気化熱を利用して試料冷却も可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)