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1. (WO2012119237) A MINIATURE HIGH SENSITIVITY PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/119237    International Application No.:    PCT/CA2012/000211
Publication Date: 13.09.2012 International Filing Date: 09.03.2012
IPC:
G01L 7/08 (2006.01), A61B 5/027 (2006.01), A61B 5/0215 (2006.01)
Applicants: OPSENS INC . [CA/CA]; 2014 rue Cyrille-Duquet Suite 125 Québec, Québec G1N 4N6 (CA) (For All Designated States Except US).
BELLEVILLE, Claude [CA/CA]; (CA) (For US Only).
LALANCETTE, Sébastien [CA/CA]; (CA) (For US Only).
LESSARD, Nicolas [CA/CA]; (CA) (For US Only)
Inventors: BELLEVILLE, Claude; (CA).
LALANCETTE, Sébastien; (CA).
LESSARD, Nicolas; (CA)
Agent: BENOÎT & CÔTÉ INC.; #800 – 1550 Metcalfe Montréal, Québec H3A 1X6 (CA)
Priority Data:
61/450,959 09.03.2011 US
Title (EN) A MINIATURE HIGH SENSITIVITY PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION MINIATURE À HAUTE SENSIBILITÉ
Abstract: front page image
(EN)There is described a miniature fiber optic pressure sensor design where sensitivity around specific biased pressure is optimized. In an embodiment, the pressure sensor is a Fabry-Perot (FP) sensor which comprises a substrate; and a diaphragm mounted on the substrate. The diaphragm has a center and comprises: a first layer comprising a first material; and a second layer comprising a second material. The second layer forms a dot or a ring. The dot or ring is mounted on the first layer and is centered about the center of the diaphragm. The second material comprises internal pre-stresses to cause the center of the diaphragm (in the case of a dot) or the peripheral area about the center of the diaphragm (in the case of a ring) to camber away from the substrate upon relaxing the internal pre-stresses.
(FR)L'invention concerne une conception miniature de capteur de pression à fibre optique dans laquelle la sensibilité autour d'une pression spécifique est optimisée. Dans un mode de réalisation, la capteur de pression est un capteur Fabry-Perot (FP) qui comprend un substrat; et un diaphragme monté sur le substrat. Le diaphragme comprend un centre et possède : une première couche présentant un premier matériau; et une deuxième couche présentant un deuxième matériau. La deuxième couche forme un point ou un anneau. Le point ou l'anneau est monté sur la première couche et est centré autour du centre du diaphragme. Le deuxième matériau est soumis à des précontraintes internes pour amener le centre du diaphragme (dans le cas d'un point) ou la zone périphérique autour du centre du diaphragme (dans de le cas d'un anneau) à se courber à l'opposé du substrat après relâchement des précontraintes internes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)