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1. (WO2012118960) METHOD AND APPARATUS FOR TEXTURING A SHEET WAFER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2012/118960 International Application No.: PCT/US2012/027266
Publication Date: 07.09.2012 International Filing Date: 01.03.2012
IPC:
H01L 21/302 (2006.01)
Applicants: WILLIAMS, Brown[US/US]; US (UsOnly)
SHERMAN, Steven[US/US]; US (UsOnly)
RICHARDSON, Christine[US/US]; US (UsOnly)
MAX ERA, INC.[US/US]; 4231 Dant Blvd. Reno, Nevada 89509-7020, US (AllExceptUS)
Inventors: WILLIAMS, Brown; US
SHERMAN, Steven; US
RICHARDSON, Christine; US
Agent: DITTHAVONG, Phouphanomketh; Ditthavong Mori & Steiner, P.C. 918 Prince Street Alexandria, VA 22314, US
Priority Data:
61/447,89801.03.2011US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR TEXTURING A SHEET WAFER
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT DE TEXTURER UNE PLAQUETTE EN FEUILLE
Abstract: front page image
(EN) A method of texturing a sheet wafer 1) provides a sheet wafer having a front surface with a preliminary average surface roughness, and a back surface, and then 2) positions the sheet wafer on a transport mechanism. The back surface of the sheet wafer is positioned to face downwardly. Next, the method sandblasts the front surface of the sheet wafer as it is supported by the transport mechanism to cause the front surface to have a final average surface roughness. The preliminary average surface roughness is less than the final average surface roughness.
(FR) La présente invention concerne un procédé permettant de texturer une plaquette en feuille. Le procédé 1) utilise une plaquette en feuille possédant une surface avant dotée d'une rugosité de surface moyenne préliminaire, et d'une surface arrière, puis 2) positionne la plaquette en feuille sur un mécanisme de transport. La surface arrière de la plaquette en feuille est positionnée pour être tournée vers le bas. Ensuite, le procédé projette du sable sur la surface avant de la plaquette en feuille pendant qu'elle est soutenue par le mécanisme de transport pour amener la surface avant à présenter une rugosité de surface moyenne finale. La rugosité de surface moyenne préliminaire est inférieure à la rugosité de surface moyenne finale.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)