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1. (WO2012118199) VAPOR-DEPOSITION DEVICE, VAPOR-DEPOSITION METHOD, ORGANIC EL DISPLAY, AND LIGHTING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2012/118199    International Application No.:    PCT/JP2012/055445
Publication Date: 07.09.2012 International Filing Date: 02.03.2012
IPC:
H05B 33/10 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), G09F 9/30 (2006.01), H01L 27/32 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/12 (2006.01), H05B 33/22 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
Kyushu University, National University Corporation, [JP/JP]; 6-10-1, Hakozaki, Higashi-ku, Fukuoka-shi, Fukuoka 8128581 (JP) (For All Designated States Except US).
EDURA, Tomohiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ADACHI, Chihaya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUNAMI, Shigeyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: EDURA, Tomohiko; (JP).
ADACHI, Chihaya; (JP).
MATSUNAMI, Shigeyuki; (JP)
Agent: SAKAI, Hiroaki; Sakai International Patent Office, Kasumigaseki Building, 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006020 (JP)
Priority Data:
2011-046438 03.03.2011 JP
Title (EN) VAPOR-DEPOSITION DEVICE, VAPOR-DEPOSITION METHOD, ORGANIC EL DISPLAY, AND LIGHTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT (EL) ORGANIQUE ET DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE
(JA) 蒸着装置、蒸着方法、有機ELディスプレイ、及び照明装置
Abstract: front page image
(EN)The objective of the present invention is to efficiently painting multiple linear thin films separately on a substrate by means of a vapor-deposition method without using any shadow mask. In terms of the basic configuration, this vapor-deposition device comprises: a treatment chamber (chamber) (10) that houses a glass substrate to be treated (S) in a removable manner; a transfer mechanism (12) that holds the substrate (S) inside the treatment chamber (10) and transfers the substrate horizontally in one direction (X direction); an evaporation mechanism (14) that generates material gases by individually evaporating raw materials or film-formation materials for organic layers of multiple kinds (seven kinds, for example); material gas spray parts (16) that, upon receiving the multiple kinds (seven kinds) of material gases from the evaporation mechanism (14), sprays the material gases toward the substrate (S) being transferred; and a controller (18) that controls the overall status, mode, or operation of the device and those of the respective components.
(FR)La présente invention concerne la peinture efficace de multiples films minces, linéaires, séparément sur un substrat à l'aide d'un procédé de dépôt en phase vapeur sans utiliser de masque perforé. Dans une configuration de base, le dispositif de dépôt en phase vapeur comporte : une chambre de traitement (chambre) (10) qui reçoit un substrat en verre à traiter (S) d'une manière amovible ; un mécanisme de transfert (12) qui porte le substrat (S) à l'intérieur de la chambre de traitement (10) et qui le transfère horizontalement dans une direction (direction X) ; un mécanisme d'évaporation (14) qui génère des gaz de matériau par évaporation individuelle de matières premières ou de matériaux de formation de film pour des couches organiques de multiples types (sept types, par exemple) ; des parties de pulvérisation de gaz de matériau (16) qui, lors de la réception des multiples types (sept types) de gaz de matériau à partir du mécanisme d'évaporation (14), pulvérisent les gaz de matériau vers le substrat (S) qui est transféré ; un dispositif de commande (18) qui commande l'état, le mode ou le fonctionnement global du dispositif et ceux des composants respectifs.
(JA) シャドウマスクを用いずに蒸着法によって基板上に複数のライン状薄膜を効率よく塗り分けすることを課題とする。この蒸着装置は、基本構成として、処理対象のガラス基板Sを出し入れ可能に収容する処理室(チャンバ)10と、この処理室10内で基板Sを保持して水平な一方向(X方向)に移動させる移動機構12と、複数種類(たとえば7種類)の有機物層の原料または成膜材料をそれぞれ個別に蒸発させて原料ガスを生成する蒸発機構14と、この蒸発機構14から上記複数種類(7種類)の原料ガスを受け取り、移動する基板Sに向けてそれらの原料ガスを噴き出す原料ガス噴き出し部16と、装置内の各部および全体のステータス、モードまたは動作を制御するコントローラ18とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)